Fahatakarana lalina momba ny rafitra SPC amin'ny famokarana Wafer

1. Overview ny SPC System

SPC dia fomba iray mampiasa teknika statistika hanaraha-maso sy hifehezana ny fizotran'ny famokarana. Ny asany fototra dia ny mamantatra ny tsy mety amin'ny fizotran'ny famokarana amin'ny alàlan'ny fanangonana sy famakafakana angon-drakitra amin'ny fotoana tena izy, manampy ny injeniera hanao fanitsiana sy fanapahan-kevitra ara-potoana. Ny tanjon'ny SPC dia ny hampihenana ny fiovaovana eo amin'ny fizotran'ny famokarana, hiantohana ny kalitaon'ny vokatra tsy miovaova ary mahafeno ny fepetra takiana.

SPC dia ampiasaina amin'ny dingan'ny etching mba:

Manara-maso ny mari-pamantarana fitaovana manan-danja (ohatra, ny tahan'ny etch, ny herin'ny RF, ny tsindry amin'ny efitrano, ny mari-pana, sns.)

Famakafakana ireo tondro fototra momba ny kalitaon'ny vokatra (ohatra, ny halalin'ny tsipika, ny halalin'ny etch, ny hamafin'ny sisiny, sns.)

Amin'ny fanaraha-maso ireo mari-pamantarana ireo, ny injeniera dia afaka mahita ny fironana manondro ny fahasimban'ny fitaovana na ny fivilian-dàlana amin'ny fizotran'ny famokarana, ka mampihena ny tahan'ny fako.

2. Ireo singa fototra amin'ny rafitra SPC

Ny rafitra SPC dia ahitana modules fototra maromaro:

Modely fanangonana angona: Manangona angona amin'ny fotoana tena izy avy amin'ny fikorianan'ny fitaovana sy ny fizotrany (ohatra, amin'ny alàlan'ny rafitra FDC, EES) ary mirakitra ireo mari-pamantarana manan-danja sy vokatry ny famokarana.

Module Chart Control: Mampiasa tabilao fanaraha-maso statistika (oh: tabilao X-Bar, tabilao R, tabilao Cp/Cpk) mba hijerena ny fahamarinan'ny fizotrany ary hanampy hamantatra raha voafehy ny dingana.

Rafitra fanairana: Manetsika fanairana rehefa mihoatra ny fetran'ny fanaraha-maso ny mari-pamantarana manakiana na mampiseho fiovan'ny fironana, manosika ny injeniera handray andraikitra.

Famakafakana sy tatitra Module: Famakafakana ny fototry ny tsy fahatomombanana mifototra amin'ny tabilao SPC ary mamoaka tsy tapaka ny tatitra momba ny asa sy ny fitaovana.

3. Fanazavana amin'ny antsipiriany momba ny tabilao fanaraha-maso ao amin'ny SPC

Ny tabilao fanaraha-maso dia iray amin'ireo fitaovana fampiasa matetika indrindra ao amin'ny SPC, manampy amin'ny fanavahana ny "variation normale" (ateraky ny fiovaovan'ny dingana voajanahary) sy ny "variation abnormal" (ateraky ny tsy fahombiazan'ny fitaovana na ny fivilian-dalana). Ny tabilao fanaraha-maso mahazatra dia ahitana:

X-Bar sy R Charts: Ampiasaina hanaraha-maso ny salan'isa sy ny salan'isa ao anatin'ny andiany famokarana mba hijerena raha milamina ny dingana.

Cp sy Cpk Indices: Ampiasaina handrefesana ny fahaiza-manaon'ny dingana, izany hoe, raha mahafeno ny fepetra takian'ny fepetra ny vokatra. Ny Cp dia mandrefy ny fahaiza-manao mety, raha ny Cpk kosa dia mihevitra ny fivilian'ny foibem-pamokarana amin'ny fetra voafaritra.

Ohatra, amin'ny fizotran'ny etching, azonao atao ny manara-maso ny mari-pamantarana toy ny tahan'ny etch sy ny hamafin'ny tany. Raha mihoatra ny fetran'ny fanaraha-maso ny tahan'ny etch amin'ny fitaovana iray, dia azonao atao ny mampiasa tabilao fanaraha-maso mba hamaritana raha fiovana voajanahary izany na famantarana ny tsy fahombiazan'ny fitaovana.

4. Fampiharana ny SPC amin'ny Etching Equipment

Ao amin'ny dingan'ny etching, ny fanaraha-maso ny mari-pamantarana fitaovana dia tena zava-dehibe, ary ny SPC dia manampy amin'ny fanatsarana ny fahamarinan-toerana amin'ny fomba manaraka:

Fanaraha-maso ny toetry ny fitaovana: Ny rafitra toy ny FDC dia manangona angon-drakitra amin'ny fotoana tena izy amin'ny mari-pamantarana fototra amin'ny fitaovana etching (ohatra, hery RF, fikorianan'ny entona) ary manambatra ireo angona ireo amin'ny tabilao fanaraha-maso SPC mba hamantarana ireo olana mety hitranga amin'ny fitaovana. Ohatra, raha hitanao fa ny herin'ny RF amin'ny tabilao fanaraha-maso dia miala tsikelikely amin'ny sanda napetraka, dia azonao atao ny mandray fepetra mialoha amin'ny fanitsiana na fikojakojana mba tsy hisy fiantraikany amin'ny kalitaon'ny vokatra.

Fanaraha-maso ny kalitaon'ny vokatra: Azonao atao ihany koa ny mampiditra ny mari-pamantarana momba ny kalitaon'ny vokatra (ohatra, ny halalin'ny etch, ny halalin'ny tsipika) ao amin'ny rafitra SPC hanaraha-maso ny fahamarinany. Raha toa ka miala tsikelikely amin'ny soatoavina kendrena ny tondro vokatra manakiana sasany, dia hamoaka fanairana ny rafitra SPC, izay manondro fa ilaina ny fanitsiana ny dingana.

Fikojakojana fisorohana (PM): Ny SPC dia afaka manampy amin'ny fanatsarana ny tsingerin'ny fikojakojana ny fitaovana. Amin'ny famakafakana angon-drakitra maharitra momba ny fahombiazan'ny fitaovana sy ny valin'ny fizotrany, azonao atao ny mamaritra ny fotoana tsara indrindra amin'ny fikojakojana ny fitaovana. Ohatra, amin'ny fanaraha-maso ny herin'ny RF sy ny androm-piainan'ny ESC, azonao atao ny mamaritra hoe rahoviana no ilaina ny fanadiovana na fanoloana singa, hampihenana ny tahan'ny tsy fahombiazan'ny fitaovana sy ny fotoana fiatoana amin'ny famokarana.

5. Torohevitra momba ny fampiasana isan'andro ho an'ny rafitra SPC

Rehefa mampiasa ny rafitra SPC amin'ny asa isan'andro dia azo arahina ireto dingana manaraka ireto:

Famaritana ny mari-pamantarana fanaraha-maso (KPI): Fantaro ireo mari-pamantarana manan-danja indrindra amin'ny fizotran'ny famokarana ary ampidiro ao amin'ny fanaraha-maso SPC. Ireo mari-pamantarana ireo dia tokony hifandray akaiky amin'ny kalitaon'ny vokatra sy ny fahombiazan'ny fitaovana.

Mametraha fetran'ny fanaraha-maso sy fetra fanairana: Mifototra amin'ny angon-drakitra ara-tantara sy ny fepetra takian'ny dingana, mametraha fetran'ny fanaraha-maso mety sy fetran'ny fanairana ho an'ny mari-pamantarana tsirairay. Ny fetran'ny fanaraha-maso dia matetika apetraka amin'ny ± 3σ (fiviliana manara-penitra), raha ny fetran'ny fanairana kosa dia mifototra amin'ny fepetra manokana momba ny dingana sy ny fitaovana.

Fanaraha-maso sy famakafakana mitohy: Avereno jerena tsy tapaka ny tabilao fanaraha-maso SPC mba hamakafaka ny fironana sy ny fiovaovan'ny angona. Raha mihoatra ny fetran'ny fanaraha-maso ny masontsivana sasany, dia ilaina ny hetsika haingana, toy ny fanitsiana ny mari-pamantarana fitaovana na fanaovana fikojakojana fitaovana.

Fikarakarana ny tsy mety sy ny famakafakana ny antony fototra: Rehefa misy tsy mety, ny rafitra SPC dia mirakitra fampahalalana amin'ny antsipiriany momba ilay zava-nitranga. Mila mamaha olana sy mamakafaka ny fototry ny tsy fetezana mifototra amin'io vaovao io ianao. Azo atao matetika ny manambatra angon-drakitra avy amin'ny rafitra FDC, rafitra EES, sns., mba hamakafakana raha ny olana dia noho ny tsy fahombiazan'ny fitaovana, ny fivilian-dàlana, na ny anton-javatra ivelany ivelany.

Fanatsarana tsy tapaka: Amin'ny fampiasana ny angon-drakitra ara-tantara voarakitry ny rafitra SPC, fantaro ireo teboka malemy amin'ny dingana ary manolotra drafitra fanatsarana. Ohatra, amin'ny fizotran'ny etching, diniho ny fiantraikan'ny androm-piainan'ny ESC sy ny fomba fanadiovana amin'ny tsingerin'ny fikojakojana ny fitaovana ary amboary hatrany ny mari-pamantarana fiasan'ny fitaovana.

6. Raharaha fampiharana azo ampiharina

Ohatra azo ampiharina, eritrereto hoe ianao no tompon'andraikitra amin'ny fitaovan'ny etching E-MAX, ary ny cathode chamber dia misedra fiakanjo aloha loatra, izay mitarika amin'ny fitomboan'ny sanda D0 (BARC defect). Amin'ny alàlan'ny fanaraha-maso ny herin'ny RF sy ny tahan'ny etch amin'ny alàlan'ny rafitra SPC dia mahatsikaritra fironana iray izay miala tsikelikely amin'ny soatoavina napetraka ireo marika ireo. Aorian'ny fanerena ny fanairana SPC, dia manambatra ny angona avy amin'ny rafitra FDC ianao ary mamaritra fa ny fanaraha-maso ny mari-pana tsy miorina ao anaty efitrano no mahatonga ny olana. Mampihatra fomba fanadiovana vaovao sy paikady fikojakojana ianao avy eo, mampihena ny sandan'ny D0 amin'ny 4.3 ho 2.4 amin'ny farany, ka manatsara ny kalitaon'ny vokatra.

7. Ao amin'ny XINKEHUI azonao atao.

Ao amin'ny XINKEHUI, afaka mahazo ny wafer tonga lafatra ianao, na wafer silisiôna izany na wafer SiC. Manam-pahaizana manokana amin'ny fanaterana wafers avo lenta ho an'ny indostria isan-karazany izahay, mifantoka amin'ny fahamendrehana sy ny fahombiazany.