Fahatakarana lalina ny rafitra SPC amin'ny fanamboarana Wafer

1. Topimaso momba ny Rafitra SPC

Fomba iray mampiasa teknika statistika ny SPC mba hanaraha-maso sy hifehezana ny fizotran'ny famokarana. Ny asany fototra dia ny mamantatra ireo tsy fetezana eo amin'ny fizotran'ny famokarana amin'ny alàlan'ny fanangonana sy famakafakana angon-drakitra mivantana, manampy ny injeniera handray fanitsiana sy fanapahan-kevitra ara-potoana. Ny tanjon'ny SPC dia ny hampihenana ny fiovaovan'ny fizotran'ny famokarana, hiantohana fa mijanona ho marin-toerana ny kalitaon'ny vokatra ary mahafeno ny fepetra takiana.

Ny SPC dia ampiasaina amin'ny dingana etching mba:

Araho maso ireo masontsivana manan-danja amin'ny fitaovana (ohatra, ny tahan'ny fandotoana, ny herin'ny RF, ny tsindrin'ny efitrano, ny mari-pana, sns.)

Fakafakao ireo mari-pamantarana fototra momba ny kalitaon'ny vokatra (ohatra, ny sakany, ny halaliny, ny haratsian'ny sisiny, sns.)

Amin'ny fanaraha-maso ireo masontsivana ireo, dia afaka mahita fironana manondro ny fihenan'ny fahombiazan'ny fitaovana na ny fivilian-dalana eo amin'ny fizotran'ny famokarana ny injeniera, ka mampihena ny tahan'ny fako tsy ilaina.

2. Singa fototra amin'ny rafitra SPC

Ny rafitra SPC dia ahitana môdioly fototra maromaro:

Môdioly Fanangonana Angon-drakitra: Manangona angon-drakitra mivantana avy amin'ny fitaovana sy ny fizotran'ny asa (ohatra, amin'ny alàlan'ny rafitra FDC, EES) ary mirakitra ireo masontsivana manan-danja sy ny vokatra azo avy amin'ny famokarana.

Môdioly Tabilao Fanaraha-maso: Mampiasa tabilao fanaraha-maso statistika (ohatra, tabilao X-Bar, tabilao R, tabilao Cp/Cpk) mba hijerena an-tsary ny fahamarinan'ny dingana ary hanampy amin'ny famaritana raha voafehy tsara ny dingana.

Rafitra Fanairana: Mandefa fanairana rehefa mihoatra ny fetran'ny fanaraha-maso ireo masontsivana manan-danja na mampiseho fiovan'ny fironana, ka manosika ny injeniera handray andraikitra.

Môdioly Famakafakana sy Tatitra: Mamakafaka ny antony fototry ny tsy fetezana mifototra amin'ny tabilao SPC ary mamorona tatitra momba ny zava-bita ho an'ny dingana sy ny fitaovana tsy tapaka.

3. Fanazavana amin'ny antsipiriany momba ny Tabilao Fanaraha-maso ao amin'ny SPC

Ny tabilao fanaraha-maso dia iray amin'ireo fitaovana ampiasaina matetika indrindra amin'ny SPC, izay manampy amin'ny fanavahana ny "fiovaovana ara-dalàna" (vokatry ny fiovaovan'ny dingana voajanahary) sy ny "fiovaovana tsy ara-dalàna" (vokatry ny tsy fahombiazan'ny fitaovana na ny fivilian'ny dingana). Ireto avy ny tabilao fanaraha-maso mahazatra:

Tabilao X-Bar sy R: Ampiasaina hanaraha-maso ny salan'isa sy ny elanelana ao anatin'ny andiany famokarana mba handinihana raha marin-toerana ny dingana.

Tondro Cp sy Cpk: Ampiasaina handrefesana ny fahafahan'ny dingana, izany hoe, raha toa ka mahafeno tsy tapaka ny fepetra takian'ny famaritana ny vokatra azo avy amin'ny dingana. Ny Cp dia mandrefy ny fahafaha-manao mety hitranga, raha ny Cpk kosa dia mandinika ny fivilian'ny foiben'ny dingana amin'ny fetran'ny famaritana.

Ohatra, mandritra ny dingan'ny fandokoana, azonao atao ny manara-maso ireo masontsivana toy ny tahan'ny fandokoana sy ny haratsian'ny ety ambonin'ny tany. Raha mihoatra ny fetran'ny fanaraha-maso ny tahan'ny fandokoana ny fitaovana iray, dia azonao ampiasaina ny tabilao fanaraha-maso mba hamaritana raha fiovaovana voajanahary izany na famantarana ny tsy fahombiazan'ny fitaovana.

4. Fampiharana ny SPC amin'ny fitaovana fandokoana

Mandritra ny fizotran'ny fandokoana, tena ilaina ny fanaraha-maso ny masontsivana amin'ny fitaovana, ary ny SPC dia manampy amin'ny fanatsarana ny fahamarinan'ny dingana amin'ireto fomba manaraka ireto:

Fanaraha-maso ny Toe-javatra misy ny Fitaovana: Ireo rafitra toa ny FDC dia manangona angon-drakitra mivantana momba ireo masontsivana fototra amin'ny fitaovana fandrefesana (ohatra, ny herin'ny RF, ny fikorianan'ny entona) ary mampiaraka ireo angon-drakitra ireo amin'ny tabilao fanaraha-maso SPC mba hamantarana ireo olana mety hitranga amin'ny fitaovana. Ohatra, raha hitanao fa mivily tsikelikely amin'ny sanda napetraka ny herin'ny RF amin'ny tabilao fanaraha-maso, dia azonao atao ny mandray fepetra mialoha ho an'ny fanitsiana na fikojakojana mba tsy hisy fiantraikany amin'ny kalitaon'ny vokatra.

Fanaraha-maso ny Kalitaon'ny Vokatra: Azonao atao ihany koa ny mampiditra ireo masontsivana fototra momba ny kalitaon'ny vokatra (ohatra, ny halaliny, ny sakany) ao amin'ny rafitra SPC mba hanaraha-maso ny fahamarinan'izy ireo. Raha misy tondro manan-danja amin'ny vokatra mihataka tsikelikely amin'ny sanda kendrena, dia hamoaka fanairana ny rafitra SPC, izay manondro fa ilaina ny fanitsiana ny dingana.

Fikojakojana Misoroka (PM): Afaka manampy amin'ny fanatsarana ny tsingerin'ny fikojakojana mialoha ny fitaovana ny SPC. Amin'ny famakafakana ny angon-drakitra maharitra momba ny fahombiazan'ny fitaovana sy ny vokatry ny fizotrany, dia azonao atao ny mamaritra ny fotoana tsara indrindra ho an'ny fikojakojana ny fitaovana. Ohatra, amin'ny fanaraha-maso ny herin'ny RF sy ny androm-piainan'ny ESC, dia azonao atao ny mamaritra ny fotoana ilaina ny fanadiovana na fanoloana ny singa, ka mampihena ny tahan'ny tsy fahombiazan'ny fitaovana sy ny fotoana tsy fiasan'ny famokarana.

5. Torohevitra momba ny fampiasana isan'andro ho an'ny rafitra SPC

Ireto dingana manaraka ireto no azo arahina rehefa mampiasa ny rafitra SPC amin'ny asa andavanandro:

Farito ireo masontsivana fanaraha-maso fototra (KPI): Fantaro ireo masontsivana manan-danja indrindra amin'ny fizotran'ny famokarana ary ampidiro ao amin'ny fanaraha-maso SPC izy ireo. Ireo masontsivana ireo dia tokony hifandray akaiky amin'ny kalitaon'ny vokatra sy ny fahombiazan'ny fitaovana.

Mametraha Fetra Fanaraha-maso sy Fetra Fanairana: Mifototra amin'ny angon-drakitra ara-tantara sy ny fepetra takian'ny dingana, mametraha fetra fanaraha-maso sy fetra fanairana azo ekena ho an'ny masontsivana tsirairay. Ny fetra fanaraha-maso dia matetika apetraka amin'ny ±3σ (fivilian-dalana mahazatra), raha toa kosa ny fetra fanairana dia mifototra amin'ny fepetra manokan'ny dingana sy ny fitaovana.

Fanaraha-maso sy famakafakana mitohy: Avereno jerena tsy tapaka ny tabilao fanaraha-maso SPC mba handinihana ny fironana sy ny fiovaovan'ny angona. Raha mihoatra ny fetran'ny fanaraha-maso ny masontsivana sasany, dia ilaina ny fepetra avy hatrany, toy ny fanitsiana ny masontsivana fitaovana na ny fikojakojana ny fitaovana.

Fitantanana ny tsy fetezana sy famakafakana ny antony fototra: Rehefa misy tsy fetezana mitranga, ny rafitra SPC dia mirakitra fampahalalana amin'ny antsipiriany momba ny tranga. Mila mamaha olana sy mamakafaka ny antony fototra mahatonga ny tsy fetezana ianao mifototra amin'izany fampahalalana izany. Matetika dia azo atao ny mampiaraka ny angon-drakitra avy amin'ny rafitra FDC, rafitra EES, sns., mba handinihana raha toa ka vokatry ny tsy fahombiazan'ny fitaovana, ny fivilian'ny dingana, na ny anton-javatra ivelany ny olana.

Fanatsarana mitohy: Amin'ny fampiasana ny angon-drakitra ara-tantara voarakitra ao amin'ny rafitra SPC, fantaro ireo teboka malemy amin'ny dingana ary manolora drafitra fanatsarana. Ohatra, amin'ny dingana fanesorana, diniho ny fiantraikan'ny androm-piainan'ny ESC sy ny fomba fanadiovana amin'ny tsingerin'ny fikojakojana ny fitaovana ary hatsarao hatrany ny masontsivana fiasan'ny fitaovana.

6. Fampiharana azo ampiharina

Ohatra azo ampiharina, aoka hatao hoe tompon'andraikitra amin'ny fitaovana fandrefesana E-MAX ianao, ary ny cathode chamber dia iharan'ny fahasimbana aloha loatra, izay mitarika amin'ny fitomboan'ny sandan'ny D0 (BARC defect). Amin'ny fanaraha-maso ny herin'ny RF sy ny tahan'ny fandrefesana amin'ny alàlan'ny rafitra SPC, dia mahatsikaritra fironana ianao izay miovaova tsikelikely amin'ny sandany napetraka ireo masontsivana ireo. Rehefa avy alefa ny fanairana SPC, dia atambatrao ny angon-drakitra avy amin'ny rafitra FDC ary fantaro fa ny olana dia vokatry ny fanaraha-maso ny mari-pana tsy marin-toerana ao anatin'ny chamber. Avy eo dia mampihatra fomba fanadiovana sy paikady fikojakojana vaovao ianao, izay mampihena ny sandan'ny D0 avy amin'ny 4.3 ho 2.4, ka manatsara ny kalitaon'ny vokatra.

7. Ao amin'ny XINKEHUI dia afaka mahazo ianao.

Ao amin'ny XINKEHUI, azonao atao ny mahazo wafer tonga lafatra, na wafer silikônina izany na wafer SiC. Manam-pahaizana manokana amin'ny fanaterana wafer avo lenta ho an'ny indostria isan-karazany izahay, mifantoka amin'ny fahamarinan-toerana sy ny fahombiazana.