Miaraka amin'ny fampivoarana tsy tapaka ny teknolojia semiconductor, ao amin'ny indostrian'ny semiconductor ary na dia ny indostrian'ny photovoltaic aza, ny fepetra takian'ny kalitao ambonin'ny substrate na epitaxial dia henjana ihany koa.Noho izany, inona no fepetra takian'ny kalitao ho an'ny wafers?Raha raisina ho ohatra ny safira safira, inona no famantarana azo ampiasaina hanombanana ny kalitaon'ny safira?
Inona avy ireo tondro fanombanana ny wafers?
Ny famantarana telo
Ho an'ny safira safira, ny tondro fanombanana azy dia ny fivilian'ny hateviny (TTV), ny fiondrika (Bow) ary ny Warp (Warp).Ireo mari-pamantarana telo ireo miaraka dia maneho ny fahasamihafan'ny fisaka sy ny hatevin'ny wafer silisiôma, ary afaka mandrefy ny haavon'ny ripple amin'ny wafer.Ny corrugation dia azo ampiarahina amin'ny fisaka mba hanombanana ny kalitaon'ny ambonin'ny wafer.
Inona no atao hoe TTV, BOW, Warp?
TTV (Total Thickness Variation)
Ny TTV dia ny fahasamihafana misy eo amin'ny hatevin'ny ovy ambony indrindra sy ambany indrindra.Ity mari-pamantarana ity dia tondro manan-danja ampiasaina handrefesana ny fitovian'ny hatevin'ny wafer.Amin'ny dingan'ny semiconductor, ny hatevin'ny wafer dia tsy maintsy mitovy amin'ny tany manontolo.Ny fandrefesana dia matetika atao amin'ny toerana dimy amin'ny wafer ary kajy ny fahasamihafana.Amin'ny farany, io sanda io dia fototra lehibe hitsarana ny kalitaon'ny wafer.
LOHAN-TSAMBO
Ny tsipìka amin'ny famokarana semiconductor dia manondro ny fiolahana amin'ny wafer, manafaka ny elanelana eo anelanelan'ny afovoan'ny wafer iray tsy voapetaka sy ny fiaramanidina fanondro.Ny teny dia azo inoana fa avy amin'ny famaritana ny endriky ny zavatra iray rehefa miondrika, toy ny miolikolika ny tsipìka.Ny sandan'ny Bow dia faritana amin'ny fandrefesana ny fiviliana eo amin'ny afovoany sy ny sisin'ny wafer silisiôma.Ity sanda ity dia matetika aseho amin'ny micrometer (µm).
aretina
Warp dia fananana maneran-tany amin'ny wafer izay mandrefy ny fahasamihafana eo amin'ny elanelana faratampony sy ambany indrindra eo anelanelan'ny wafer tsy voapetaka malalaka sy ny fiaramanidina reference.Maneho ny halaviran'ny eny ambonin'ny savony silisiôma mankany amin'ny fiaramanidina.
Inona no maha samy hafa ny TTV, Bow, Warp?
Mifantoka amin'ny fiovan'ny hateviny ny TTV ary tsy miraharaha ny fiondrika na fanodinkodinana ny wafer.
Ny tsipìka dia mifantoka amin'ny fiolahana ankapobeny, indrindra amin'ny fiheverana ny fiolahana amin'ny teboka afovoany sy ny sisiny.
Ny Warp dia feno kokoa, ao anatin'izany ny fiforetana sy fanodinkodinana ny tontolon'ny wafer manontolo.
Na dia mifandray amin'ny endrika sy ny toetra geometrika amin'ny wafer silisiôma aza ireo mari-pamantarana telo ireo, dia samy hafa ny fandrefesana sy ny famaritana azy ireo, ary ny fiantraikany amin'ny fizotran'ny semiconductor sy ny fanodinana wafer dia hafa ihany koa.
Ny kely kokoa ny masontsivana telo, ny tsara kokoa, ary ny lehibe kokoa ny parameter, ny lehibe kokoa ny fiantraikany ratsy eo amin'ny dingana semiconductor.Noho izany, amin'ny maha-mpanazatra semiconductor, dia tsy maintsy mahatsapa ny maha-zava-dehibe ny masontsivana mombamomba ny wafer ho an'ny fizotran'ny dingana manontolo, manao dingana semiconductor, tsy maintsy mihaino ny antsipiriany.
（sivana）
Fotoana fandefasana: Jun-24-2024