Inona no maha samy hafa ny SiC conductive substrate sy semi-insulated substrate?

SiC silicon carbideNy fitaovana dia manondro ny fitaovana vita amin'ny karbida silisiôma ho akora fototra.

Araka ny fananana fanoherana samy hafa, dia mizara ho conductive silisiôma carbide hery fitaovana sysemi-insulated silisiôma carbidefitaovana RF.

Ny endrika fitaovana lehibe sy ny fampiharana ny karbida silisiôma

Ny tombony lehibe amin'ny SiC amin'nyNy fitaovanadia:

Ny SiC dia manana elanelana 3 heny noho ny an'ny Si, izay mety hampihena ny leakage ary hampitombo ny fandeferana amin'ny hafanana.

Ny SiC dia manana 10 heny amin'ny tanjaky ny saha simba amin'ny Si, afaka manatsara ny hakitroky amin'izao fotoana izao, ny faharetan'ny fiasana, ny mahazaka malefaka ary mampihena ny fahaverezan'ny on-off, mety kokoa amin'ny fampiharana malefaka.

Ny SiC dia manana avo roa heny ny hafainganan'ny sidina elektrôna saturation amin'ny Si, noho izany dia afaka miasa amin'ny matetika izy io.

Ny SiC dia manana in-3 ny conductivity mafana amin'ny Si, ny fahombiazan'ny hafanana tsara kokoa, afaka manohana ny hakitroky ny hery avo ary mampihena ny fepetra takian'ny hafanana, mahatonga ny fitaovana ho maivana kokoa.

Conductive substrate

Conductive substrate: Amin'ny alalan'ny fanesorana ny loto isan-karazany ao amin'ny kristaly, indrindra fa marivo haavon'ny loto, mba hahazoana ny intrinsic avo resistivity ny kristaly.

a1

Conductivesilicone carbide substrateSiC wafer

Conductive silisiôma carbide hery fitaovana dia amin'ny alalan'ny fitomboan'ny silisiôma carbide epitaxial sosona eo amin'ny conductive substrate, ny silisiôma carbide epitaxial taratasy dia nokarakaraina bebe kokoa, anisan'izany ny famokarana ny Schottky diodes, MOSFET, IGBT, sns, indrindra indrindra ampiasaina amin'ny fiara elektrika, hery photovoltaic. famokarana, fitaterana an-dalamby, ivontoerana data, fiampangana ary fotodrafitrasa hafa. Ny tombony amin'ny fampisehoana dia toy izao manaraka izao:

Ny toetran'ny tsindry ambony nohatsaraina. Ny tanjaky ny herin'ny herinaratra carbide silisiôma dia mihoatra ny 10 heny noho ny silisiôma, izay mahatonga ny fanoherana avo lenta amin'ny fitaovana karbida silisiôna avo kokoa noho ny an'ny fitaovana silisiôma mitovy.

Toetra tsara kokoa ny mari-pana ambony. Ny carbide silikon dia manana conductivity mafana kokoa noho ny silisiôma, izay mahatonga ny fanaparitahana hafanana amin'ny fitaovana ary ambony kokoa ny mari-pana miasa. Ny fanoherana ny mari-pana ambony dia mety hitarika amin'ny fitomboana lehibe amin'ny hakitroky ny herinaratra, ary mampihena ny fepetra takiana amin'ny rafitra fampangatsiahana, mba hahatonga ny terminal ho maivana kokoa sy kely kokoa.

Mihena ny fanjifana angovo. ① Silicon carbide fitaovana dia tena ambany amin'ny fanoherana sy ambany amin'ny-fatiantoka; (2) Ny leakage amin'ny fitaovana silisiôma carbide dia mihena be noho ny an'ny fitaovana silisiôma, ka mampihena ny fatiantoka; ③ Tsy misy trangan-javatra tailing amin'izao fotoana izao ao amin'ny dingan'ny fihodinan'ny fitaovana karbida silisiôma, ary ambany ny fatiantoka, izay manatsara ny fatran'ny fampidinana ny fampiharana azo ampiharina.

Semi-insulated SiC substrate

Semi-insulated SiC substrate: N doping dia ampiasaina mba hifehy tsara ny resistivity ny conductive vokatra amin'ny alalan'ny calibrating mifanaraka ny fifandraisana misy azota doping fifantohana, ny tahan'ny fitomboana sy ny kristaly resistivity.

a2
a3

Fitaovana substrate semi-insulating madio tsara

Ny fitaovana RF mifototra amin'ny karbônina semi-insulated dia vita amin'ny alàlan'ny fitomboan'ny gallium nitride epitaxial layer amin'ny substrate silicon carbide semi-insulated mba hanomanana takelaka epitaxial silicon nitride, ao anatin'izany ny HEMT sy ny fitaovana RF gallium nitride hafa, indrindra ampiasaina amin'ny fifandraisana 5G, fifandraisana amin'ny fiara, fampiharana fiarovana, fampitana angon-drakitra, aerospace.

Ny taham-pamokarana elektronika mahavoky ny karbida silisiôma sy ny fitaovana gallium nitride dia 2.0 sy 2.5 heny noho ny an'ny silisiôma tsirairay avy, noho izany dia lehibe kokoa noho ny an'ny fitaovana silisiôma nentim-paharazana ny fatran'ny fitaovana silisiôna carbide sy gallium nitride. Na izany aza, ny gallium nitride fitaovana dia manana ny fatiantoka ny mahantra hafanana fanoherana, raha silisiôma carbide manana hafanana tsara sy mafana conductivity, izay afaka mahafeno ny mahantra hafanana fanoherana ny gallium nitride fitaovana, ka ny orinasa maka semi-insulated silisiôma carbide ho substrate. , ary ny sosona epitaxial gan dia ambolena amin'ny substrate karbida silisiôma mba hanamboarana fitaovana RF.

Raha misy fanitsakitsahana dia vonoy ny fifandraisana


Fotoana fandefasana: Jul-16-2024