Vatomamy safira 12 santimetatra ho an'ny fanamboarana semiconductor be dia be

Vatomamy safira 12 santimetatra ho an'ny fanamboarana semiconductor avo lenta Sary nasongadina

Famaritana fohy:

Ny "wafer safira" 12 santimetatra dia natao hanomezana fahafaham-po ny fitomboan'ny fangatahana amin'ny famokarana semiconductor sy optoelektronika amin'ny faritra midadasika sy avo lenta. Rehefa mivelatra hatrany ny maritrano fitaovana ary miroso mankany amin'ny endrika "wafer" lehibe kokoa ny tsipika famokarana, ny substrates safira manana savaivony tena lehibe dia manolotra tombony mazava amin'ny vokatra, ny fanatsarana ny vokatra ary ny fanaraha-maso ny vidiny.

Alefaso mailaka aminay

Toetoetra

Kisarisary amin'ny antsipiriany

Fampidirana ny wafer safira 12 santimetatra

Vita avy amin'ny kristaly tokana Al₂O₃ madio avo lenta, ny wafer safira 12 santimetatra anay dia mampifangaro ny tanjaka mekanika tena tsara, ny fahamarinan-toerana ara-hafanana ary ny kalitaon'ny velarana. Amin'ny alàlan'ny fitomboan'ny kristaly nohatsaraina sy ny fanodinana wafer mazava tsara, ireo substrates ireo dia manome fahombiazana azo itokisana ho an'ny fampiharana LED, GaN ary semiconductor manokana mandroso.

Toetran'ny akora

Malaza noho ny toetrany ara-batana sy simika miavaka ny safira (oksidan'ny aliminioma kristaly tokana, Al₂O₃). Mandova ny tombony rehetra azo avy amin'ny akora safira ny vato fisaka safira 12 santimetatra sady manome velaran-tany azo ampiasaina bebe kokoa.

Ireto avy ireo toetra mampiavaka ny fitaovana:

Hamafin'ny tena avo sy fanoherana ny fikikisana
Fahamarinan-toerana mafana tsara sy teboka fandrendrehana avo lenta
Fanoherana simika ambony amin'ny asidra sy alkalis
Mangarahara optika avo lenta manomboka amin'ny onjam-pahazavana UV ka hatramin'ny IR
Toetra tsara amin'ny insulation elektrika

Ireo toetra ireo no mahatonga ny wafer safira 12 santimetatra ho mety tsara amin'ny tontolo fanodinana henjana sy ny famokarana semiconductor amin'ny mari-pana avo.

Dingana famokarana

Ny famokarana vato safira 12 santimetatra dia mitaky fitomboana kristaly mandroso sy teknolojia fanodinana tena marina. Ny dingana famokarana mahazatra dia ahitana:

Fitomboan'ny Kristaly Tokana
Ambolena amin'ny alalan'ny fomba mandroso toy ny KY na teknolojia fitomboan'ny kristaly lehibe hafa ny kristaly safira madio avo lenta, mba hahazoana antoka fa mitovy ny firafitry ny kristaly ary ambany ny fihenjanana anatiny.
Famolavolana sy fanapahana kristaly
Voaendrika tsara sy tetehina ho lasa takelaka 12 santimetatra ny vato safira amin'ny alalan'ny fitaovana fanapahana avo lenta mba hampihenana ny fahasimbana ambanin'ny tany.
Famafazana sy famolahana
Ampiharina ny fomba fanosorana misy dingana maro sy ny fanosorana simika sy mekanika (CMP) mba hahazoana harafesina, fisaka ary fitoviana tsara amin'ny ety ivelany.
Fanadiovana sy fanaraha-maso
Ny wafer safira 12 santimetatra tsirairay dia mandalo fanadiovana tanteraka sy fizahana hentitra, anisan'izany ny kalitaon'ny velarany, ny TTV, ny tsipìka, ny endrika miendrika vatan-kazo ary ny fanadihadiana ny lesoka.

Fampiharana

Ny "wafers" safira 12 santimetatra dia ampiasaina betsaka amin'ny teknolojia mandroso sy vao misondrotra, anisan'izany:

Substrate LED mahery vaika sy mamirapiratra avo lenta
Fitaovana herinaratra mifototra amin'ny GaN sy fitaovana RF
Mpitatitra fitaovana semiconductor sy substrate insulation
Varavarankely optika sy singa optika midadasika
Fonosana semiconductor mandroso sy mpitatitra dingana manokana

Ny savaivony lehibe dia ahafahana mamokatra vokatra betsaka kokoa ary mampihena ny fandaniana amin'ny famokarana faobe.

Tombony azo avy amin'ny "wafer" safira 12 santimetatra

Faritra azo ampiasaina bebe kokoa ho an'ny vokatra avo kokoa isaky ny wafer
Nohatsaraina ny fitoviana sy ny fitoviana amin'ny dingana
Fihenam-bidy isaky ny fitaovana amin'ny famokarana betsaka
Tanjaka mekanika tena tsara ho an'ny fikirakirana habe lehibe
Fepetra azo amboarina ho an'ny fampiharana samihafa

Safidy fanamboarana

Manolotra fanamboarana azo ovaina ho an'ny wafer safira 12 santimetatra izahay, anisan'izany:

Fironana kristaly (C-plane, A-plane, R-plane, sns.)
Fandeferana ny hateviny sy ny savaivony
Fanosotra amin'ny lafiny iray na lafiny roa
Endrika sisin'ny sisiny sy chamfer
Fepetra takiana amin'ny haratoana sy ny fisakanan'ny velarana

fikirana	famaritana	-tsoratra
Diameter'ny Wafer	12 santimetatra (300 mm)	Wafer mahazatra misy savaivony lehibe
KEVITRA	Safira kristaly tokana (Al₂O₃)	Fahadiovana avo lenta, kilasy elektronika/optika
Fironana Kristaly	Fiaramanidina C (0001), Fiaramanidina A (11-20), Fiaramanidina R (1-102)	Misy safidy azo isafidianana
hateviny	430–500 μm	Azo atao ny mangataka ny hateviny manokana
Fandeferana ny hateviny	±10 μm	Fandeferana henjana ho an'ny fitaovana mandroso
Fiovaovan'ny hateviny manontolo (TTV)	≤10 μm	Miantoka ny fanodinana mitovy amin'ny wafer
LOHAN-TSAMBO	≤50 μm	Norefesina tamin'ny wafer manontolo
aretina	≤50 μm	Norefesina tamin'ny wafer manontolo
Famaranana ny velarana	Voaporitra amin'ny lafiny iray (SSP) / Voaporitra amin'ny lafiny roa (DSP)	Ambony kalitao optika
Fahasarotan'ny ety ambonin'ny tany (Ra)	≤0.5 nm (voapolesina)	Fahalemena amin'ny ambaratonga atomika ho an'ny fitomboana epitaxial
Piraofilin'ny sisiny	Sisiny boribory / Chamfer	Mba hisorohana ny fikikisana mandritra ny fikirakirana
Fahitsiana ny orientation	±0.5°	Miantoka ny fitomboan'ny sosona epitaxial araka ny tokony ho izy
Hakitry ny lesoka	<10 sm⁻²	Refesina amin'ny alalan'ny fizahana optika
Fisaka	≤2 μm / 100 mm	Miantoka ny litografia mitovy sy ny fitomboana epitaxial
fahadiovana	Kilasy 100 – Kilasy 1000	Mifanaraka amin'ny efitrano madio
Fandefasana Optika	>85% (UV–IR)	Miankina amin'ny halavan'ny onjam-peo sy ny hateviny

Fanontaniana Matetika Apetraka momba ny Wafer Safira 12 Inch

F1: Inona ny hatevin'ny wafer safira 12 santimetatra mahazatra?
A: Ny hateviny mahazatra dia manomboka amin'ny 430 μm ka hatramin'ny 500 μm. Azo atao ihany koa ny manamboatra hateviny manokana araka ny takian'ny mpanjifa.

F2: Inona avy ireo endrika kristaly azo ampiasaina amin'ny wafer safira 12 santimetatra?
A: Manolotra fironana C-plane (0001), A-plane (11-20), ary R-plane (1-102) izahay. Azo ovaina arakaraky ny filàn'ny fitaovana manokana ny fironana hafa.

F3: Inona ny fiovaovan'ny hateviny manontolo (TTV) amin'ny wafer?
A: Ny wafer safira 12 santimetatra anay dia mazàna manana TTV ≤10 μm, izay miantoka ny fitoviana manerana ny velaran'ny wafer manontolo mba hahazoana fitaovana avo lenta.

Momba anay

Manam-pahaizana manokana amin'ny fampivoarana, famokarana ary fivarotana fitaratra optika manokana sy fitaovana kristaly vaovao ny XKH. Manolotra fitaovana elektronika optika, fitaovana elektronika ho an'ny mpanjifa ary ho an'ny tafika ny vokatray. Manolotra singa optika Safira, fonon-tanana finday, seramika, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ary wafer kristaly semiconductor izahay. Manana fahaizana manokana sy fitaovana avo lenta izahay, ary miavaka amin'ny fanodinana vokatra tsy manara-penitra, mikendry ny ho orinasa teknolojia avo lenta amin'ny fitaovana optoelektronika.