Lafaoro Fitomboana Kristaly SiC 4 santimetatra 6 santimetatra 8 santimetatra ho an'ny Fizotran'ny CVD

1. Rafitra fanaraha-maso ny mari-pana mandroso
Ny lafaoro dia misy rafitra fanafanana resistive misy faritra maro izay afaka mitazona mari-pana hatramin'ny 2300°C miaraka amin'ny fitoviana ±1°C manerana ny efitrano fitomboana manontolo. Ity fitantanana ny hafanana marina ity dia tanterahina amin'ny alàlan'ny:
Faritra fanafanana 12 fehezina tsy miankina.
Fanaraha-maso ny thermocouple miverimberina (Karazana C W-Re).
Algorithma fanitsiana ny mombamomba ny hafanana amin'ny fotoana tena izy.
Rindrin'ny efi-trano mangatsiaka amin'ny rano ho an'ny fanaraha-maso ny fiovaovan'ny hafanana.

2. Teknolojian'ny fanaterana sy fampifangaroana entona
Ny rafitra fizarana entona manokana anay dia miantoka ny fifangaroan'ny precursor tsara indrindra sy ny fanaterana mitovy:
Mpandrindra ny fikorianan'ny faobe miaraka amin'ny fahamarinan'ny ±0.05sccm.
Fitambaran'ny tsindrona entona misy teboka maro.
Fanaraha-maso ny firafitry ny entona eo an-toerana (spektroskopia FTIR).
Fanonerana mandeha ho azy ny fikorianan'ny rano mandritra ny tsingerin'ny fitomboana.

3. Fanatsarana ny kalitaon'ny kristaly
Mampiasa fanavaozana maromaro ity rafitra ity mba hanatsarana ny kalitaon'ny kristaly:
Fitoeran-javatra mihodina (azo fandaharana 0-100rpm).
Teknolojia fanaraha-maso ny sosona sisintany mandroso.
Rafitra fanaraha-maso ny lesoka eo an-toerana (fiparitahan'ny taratra UV).
Fanonerana ny adin-tsaina mandeha ho azy mandritra ny fitomboana.

4. Fanaraha-maso sy Fandrindrana ny Fizotran'ny Asa
Fampiharana fomba fahandro mandeha ho azy tanteraka.
Faharanitan-tsaina artifisialy (AI) fanatsarana ny masontsivana fitomboana amin'ny fotoana tena izy.
Fanaraha-maso sy diagnostika lavitra.
Fandraketana angon-drakitra mihoatra ny 1000 (voatahiry mandritra ny 5 taona).

5. Toetra mampiavaka ny fiarovana sy ny fahatokisana
Fiarovana amin'ny hafanana be loatra telo heny.
Rafitra fanadiovana vonjy taitra mandeha ho azy.
Endrika rafitra voasokajy ho amin'ny horohoron-tany.
Antoka 98.5% amin'ny fotoana fiasana.

6. Maritrano azo ovaina
Ny endrika modular dia ahafahana manatsara ny fahafaha-manao.
Mifanaraka amin'ny habe wafer 100mm hatramin'ny 200mm.
Manohana ny fandrindrana mitsangana sy mitsivalana.
Singa azo ovaina haingana ho an'ny fikojakojana.

7. Fahombiazan'ny angovo
Lafo kokoa 30% ny fanjifana herinaratra raha oharina amin'ireo rafitra mitovy aminy.
Ny rafitra famerenana hafanana dia maka ny 60%-n'ny hafanana very.
Algorithm momba ny fanjifana entona nohatsaraina.
Fepetra takian'ny toeram-pamokarana herinaratra mifanaraka amin'ny LEED.

8. Fahaiza-manao amin'ny fitaovana maro samihafa
Mampitombo ny karazana SiC lehibe rehetra (4H, 6H, 3C).
Manohana ireo karazana herinaratra mitondra herinaratra sy ireo semi-insulating.
Mifanaraka amin'ny tetika fampidirana doping isan-karazany (karazana-N, karazana-P).
Mifanaraka amin'ny akora mialoha hafa (ohatra, TMS, TES).

9. Fahombiazan'ny Rafitra Banga
Tsindry fototra: <1×10⁻⁶ Torr
Tahan'ny fivoahana: <1×10⁻⁹ Torr·L/segondra
Hafainganam-pandehan'ny paompy: 5000L/s (ho an'ny SiH₄)

Fanaraha-maso ny tsindry mandeha ho azy mandritra ny tsingerin'ny fitomboana
Ity famaritana ara-teknika feno ity dia mampiseho ny fahafahan'ny rafitray mamokatra kristaly SiC avo lenta sy avo lenta amin'ny fikarohana miaraka amin'ny tsy fiovaovana sy ny vokatra tsara indrindra amin'ny indostria. Ny fitambaran'ny fanaraha-maso mazava tsara, ny fanaraha-maso mandroso ary ny injeniera matanjaka dia mahatonga ity rafitra CVD ity ho safidy tsara indrindra ho an'ny R&D sy ny fampiharana famokarana volume amin'ny elektronika herinaratra, fitaovana RF, ary fampiharana semiconductor mandroso hafa.