Milina efamira roa sosona fanodinana tsorakazo silikônina monokristalinina 6/8/12 santimetatra fisaka ny velarany Ra≤0.5μm
Toetran'ny fitaovana:
(1) Fikirakirana mifanindry amin'ny gara roa sosona
· Fahombiazana avo roa heny: Ny fanodinana miaraka amin'ny tsorakazo silikônina roa (Ø6"-12") dia mampitombo ny vokatra 40%-60% raha oharina amin'ny fitaovana Simplex.
· Fanaraha-maso mahaleo tena: Ny toeram-piasana tsirairay dia afaka manitsy tsy miankina ny masontsivana fanapahana (fihenjanana, hafainganam-pandehan'ny famahanana) mba hifanaraka amin'ny fepetra takian'ny tsorakazo silikônina samihafa.
(2) Fanapahana avo lenta
· Fahamarinan'ny refy: fandeferana ny elanelan'ny lafiny bara efamira ±0.15mm, elanelana ≤0.20mm.
· Kalitaon'ny velaran-tany: fahatapahan'ny sisiny <0.5mm, mampihena ny habetsaky ny fikosoham-bary manaraka.
(3) Fanaraha-maso marani-tsaina
· Fanapahana miovaova: fanaraha-maso mivantana ny endriky ny tsorakazo silikônina, fanitsiana mavitrika ny lalan'ny fanapahana (toy ny fanodinana ny tsorakazo silikônina miondrika).
· Fahaizana manara-maso ny angona: mirakitra ny masontsivana fanodinana ny tsorakazo silikônina tsirairay mba hanohanana ny fampifandraisana ny rafitra MES.
(4) Vidiny mora lany
· Fanjifana tariby diamondra: ≤0.06m/mm (halavan'ny tsorakazo silikônina), savaivony tariby ≤0.30mm.
· Fivezivezen'ny ranon-javatra fampangatsiahana: Manalava ny androm-piainan'ny fitaovana ny rafitra sivana ary mampihena ny fanariana ranon-javatra tsy ilaina.
Tombontsoa azo avy amin'ny teknolojia sy ny fampandrosoana:
(1) Fanapahana ny fanatsarana ny teknolojia
- Fanapahana tsipika maromaro: tsipika diamondra 100-200 no ampiasaina mifanitsy, ary ny hafainganam-pandeha fanapahana dia ≥40mm/min.
- Fanaraha-maso ny fihenjanana: Rafitra fanitsiana tadivavarana mihidy (±1N) mba hampihenana ny mety ho fahatapahan'ny tariby.
(2) Fanitarana ny fifanarahan-kevitra
- Fampifanarahana amin'ny fitaovana: Manohana silikônina monokristalinina karazana-P/N, mifanaraka amin'ny TOPCon, HJT ary tsorakazo silikônina mahomby hafa ho an'ny bateria.
- Habe azo ovaina: halavan'ny tsorakazo silikônina 100-950mm, ny elanelan'ny lafiny efamira amin'ny tsorakazo azo amboarina 166-233mm.
(3) Fanavaozana ny automation
- Fampidirana sy fanesorana entana amin'ny alalan'ny robo: fampidirana/fanesorana entana mandeha ho azy amin'ny tsorakazo silikônina, kapoka ≤3 minitra.
- Diagnostika marani-tsaina: Fikojakojana mialoha mba hampihenana ny fotoana tsy fiasana tsy nampoizina.
(4) Fitarihana ny indostria
- Fanohanana Wafer: afaka mikirakira silikônina manify ≥100μm miaraka amin'ny tsorakazo efa-joro, tahan'ny fahapotehana <0.5%.
- Fanatsarana ny fanjifana angovo: Mihena 30% ny fanjifana angovo isaky ny singa iray amin'ny tsorakazo silikônina (raha oharina amin'ny fitaovana nentim-paharazana).
Masontsivana ara-teknika:
| Anaran'ny masontsivana | Sanda fanondroana |
| Isan'ny bara voahodina | 2 sombiny/sety |
| Elanelana halavan'ny bara fanodinana | 100~950mm |
| Elanelana amin'ny sisiny fanodinana | 166~233mm |
| Hafainganam-pandeha fanapahana | ≥40mm/min |
| Hafainganam-pandehan'ny tariby diamondra | 0~35m/s |
| Savaivony diamondra | 0.30 mm na latsaka |
| Fanjifana mirindra | 0.06 m/mm na latsaka |
| Savaivony boribory mifanaraka amin'ny tsorakazo | Savaivony vita amin'ny tsorakazo efamira +2mm, Ataovy azo antoka fa mandalo ny famolahana |
| Fanaraha-maso ny fahatapahana farany | Sisiny manta ≤0.5mm, Tsy misy poti-javatra, kalitao avo lenta |
| Fitoviana amin'ny halavan'ny arko | Elanelana fandefasana <1.5mm, afa-tsy ny fanovana ny distorsion amin'ny silicon rod |
| Refin'ny milina (milina tokana) | 4800×3020×3660mm |
| Hery voaisa manontolo | 56kW |
| Lanja maty amin'ny fitaovana | 12t |
Tabilao fanondroana ny fahamarinan'ny milina:
| Entana mazava tsara | Elanelana fandeferana |
| Fandeferana amin'ny sisin'ny bara efamira | ±0.15mm |
| Elanelana sisin'ny bara efamira | ≤0.20mm |
| Zoro amin'ny lafiny rehetra amin'ny tsorakazo efa-joro | 90°±0.05° |
| Fisaka amin'ny tsorakazo efa-joro | ≤0.15mm |
| Fahamarinan'ny fametrahana robot miverimberina | ±0.05mm |
Ny tolotra omen'ny XKH:
Manome tolotra feno ho an'ny milina roa-toerana misy silikônina mono-kristaly ny XKH, anisan'izany ny fanamboarana fitaovana (mifanaraka amin'ny tsorakazo silikônina lehibe), ny fanombohana ny dingana (fanatsarana ny masontsivana fanapahana), ny fiofanana momba ny asa ary ny fanohanana aorian'ny fivarotana (famatsiana kojakoja fototra, fitiliana lavitra), ny fiantohana fa mahazo vokatra avo lenta (>99%) sy famokarana mora vidy ny mpanjifa, ary ny fanomezana fanavaozana ara-teknika (toy ny fanatsarana ny fanapahana amin'ny alalan'ny artifisialy). 2-4 volana ny fe-potoana fanaterana.
Kisarisary amin'ny antsipiriany









