Vahaolana amin'ny fandokoana "Wafer" voasokitra amin'ny safira, lena sy maina

Vahaolana amin'ny fandokoana safira voasokitra amin'ny loko lena sy maina Sary nasongadina

Famaritana fohy:

Ny vato fisaka voasokitra safira dia amboarina amin'ny fampiasana substrate safira kristaly tokana (Al₂O₃) madio avo lenta, izay karakaraina amin'ny alàlan'ny photolithography mandroso miaraka amin'ny teknolojia fanosorana lena sy maina. Ireo vokatra ireo dia manana lamina bitika mitovy tsara, fahamarinan'ny refy tsara, ary fahamarinan-toerana ara-batana sy simika miavaka, ka mahatonga azy ireo ho mety amin'ny fampiharana azo itokisana avo lenta amin'ny microelectronics, optoelectronics, fonosana semiconductor, ary sehatry ny fikarohana mandroso.

Alefaso mailaka aminay

Toetoetra

Kisarisary amin'ny antsipiriany

Fampidirana ny vokatra

Ny vato fisaka voasokitra safira dia amboarina amin'ny fampiasana substrate safira kristaly tokana (Al₂O₃) madio avo lenta, izay nokarakaraina tamin'ny alàlan'ny photolithography mandroso miaraka amin'nyteknolojia fandokoana mando sy fandokoana mainaIreo vokatra ireo dia manana lamina bitika mitovy tsara, fahamarinan'ny refy tena tsara, ary fahamarinan-toerana ara-batana sy simika miavaka, ka mahatonga azy ireo ho mety amin'ny fampiharana azo itokisana avo lenta amin'ny mikroelektronika, optoelektronika, fonosana semiconductor, ary sehatry ny fikarohana mandroso.

Malaza amin'ny hamafiny miavaka sy ny fahamarinan-toerana ara-drafitra ny safira, miaraka amin'ny hamafin'ny Mohs 9, faharoa aorian'ny diamondra. Amin'ny alàlan'ny fanaraha-maso tsara ny masontsivana fandrefesana, dia azo atao ny mamorona rafitra bitika voafaritra tsara sy azo averina eo amin'ny velaran'ny safira, izay miantoka ny sisiny maranitra, ny jeometrika marin-toerana, ary ny tsy fiovaovana tsara amin'ny andiany rehetra.

Teknolojian'ny fandokoana

Fanodinana mando

Mampiasa vahaolana simika manokana ny fandokoana amin'ny alalan'ny rano mba hanesorana amin'ny fomba voafantina ny akora safira sy hamoronana ny rafitra bitika irina. Ity dingana ity dia manolotra vokatra avo lenta, fitoviana tsara, ary vidin'ny fanodinana ambany kokoa, ka mahatonga azy io ho mety amin'ny lamina amin'ny faritra midadasika sy ny fampiharana miaraka amin'ny fepetra takiana antonony amin'ny lafiny rindrina.

Amin'ny alalan'ny fanaraha-maso marina ny firafitry ny vahaolana, ny mari-pana ary ny fotoana fandokoana, dia azo tratrarina ny fanaraha-maso maharitra ny halaliny sy ny endriky ny ety ivelany. Ny takelaka safira nolokoina lena dia ampiasaina betsaka amin'ny substrates fonosana LED, sosona fanohanana ara-drafitra, ary fampiharana MEMS voafantina.

Fanodinana maina

Ny fandavahana maina, toy ny fandavahana plasma na ny fandavahana ion reactive (RIE), dia mampiasa ion-kery avo lenta na karazana reactive mba handravazana safira amin'ny alalan'ny mekanisma ara-batana sy simika. Ity fomba ity dia manome anisotropy ambony, fahamarinan-toerana avo lenta, ary fahafahana mamindra lamina tsara dia tsara, ahafahana manamboatra endri-javatra tsara sy rafitra bitika avo lenta.

Ny "dry etching" dia mety tsara indrindra amin'ny fampiharana izay mitaky rindrina mitsangana, famaritana endri-javatra maranitra, ary fanaraha-maso henjana ny refy, toy ny fitaovana Micro-LED, fonosana semiconductor mandroso, ary rafitra MEMS avo lenta.

Endri-javatra sy tombony lehibe

Safira kristaly tokana madio avo lenta miaraka amin'ny tanjaka mekanika tena tsara
Safidy azo ovaina ny fomba fiasa: fandokoana lena na fandokoana maina arakaraka ny fepetra takiana amin'ny fampiharana
Hamafin'ny hoditra sy ny fanoherana ny fikikisana avo lenta mba hahazoana fahatokisana maharitra
Fitoniana ara-pahasalamana sy simika tena tsara, mety amin'ny tontolo iainana henjana
Mangarahara optika avo lenta sy toetra dielektrika marin-toerana
Fitoviana avo lenta amin'ny lamina sy ny tsy fitoviana isaky ny andiany

Fampiharana

Fonosana sy fitaovana fitsapana LED sy Micro-LED
Mpitatitra puce semiconductor sy fonosana mandroso
Sela MEMS sy rafitra mikro-elektromekanika
Singa optika sy rafitra fandrindrana mazava tsara
Ivontoerana fikarohana sy fampandrosoana rafitra bitika namboarina manokana

Fanamboarana manokana sy serivisy

Manolotra tolotra fanamboarana feno izahay, anisan'izany ny famolavolana lamina, ny fisafidianana fomba fandokoana (lena na maina), ny fanaraha-maso ny halalin'ny fandokoana, ny safidy hatevin'ny substrate sy ny haben'ny, ny fandokoana amin'ny lafiny iray na roa, ary ny kalitaon'ny fandokoana ny velarana. Ny fanaraha-maso hentitra ny kalitao sy ny fomba fanaraha-maso dia miantoka fa ny wafer voasokitra safira rehetra dia mahafeno ny fenitra azo itokisana sy ny fahombiazana avo lenta alohan'ny fanaterana.

Fanontaniana Matetika Apetraka

F1: Inona no mahasamihafa ny fandokoana amin'ny fomba lena sy ny fandokoana amin'ny fomba maina ho an'ny safira?

A:Ny fandotoana amin'ny rano dia mifototra amin'ny fihetsika simika ary mety amin'ny fanodinana amin'ny faritra midadasika sy mahomby, raha ny fandotoana amin'ny rano kosa dia mampiasa teknika mifototra amin'ny plasma na ion mba hahazoana fahamarinan-toerana ambony kokoa, anisotropy tsara kokoa, ary fanaraha-maso tsara kokoa ny endri-javatra. Miankina amin'ny fahasarotan'ny rafitra, ny fepetra takiana amin'ny fahamarinan-toerana, ary ny fiheverana ny vidiny ny safidy.

F2: Inona no fomba fandokoana tokony hofidiko amin'ny fampiharana ataoko?

A:Soso-kevitra ny fanaovana "wet etching" amin'ny fampiasana izay mitaky lamina mitovy amin'ny fahamarinan'ny sary, toy ny "standard LED substrates". Ny fanaovana "dry etching" kosa dia mety kokoa amin'ny fampiasana "high resolution", "high aspect-ratio", na Micro-LED sy MEMS izay tena ilaina ny jeometrika marina.

Q3: Afaka manohana lamina sy fepetra takiana namboarina ve ianao?

A:Eny. Manohana endrika namboarina manokana tanteraka izahay, anisan'izany ny firafitry ny lamina, ny haben'ny endri-javatra, ny halaliny, ny hatevin'ny wafer, ary ny refin'ny substrate.

Momba anay

Manam-pahaizana manokana amin'ny fampivoarana, famokarana ary fivarotana fitaratra optika manokana sy fitaovana kristaly vaovao ny XKH. Manolotra fitaovana elektronika optika, fitaovana elektronika ho an'ny mpanjifa ary ho an'ny tafika ny vokatray. Manolotra singa optika Safira, fonon-tanana finday, seramika, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ary wafer kristaly semiconductor izahay. Manana fahaizana manokana sy fitaovana avo lenta izahay, ary miavaka amin'ny fanodinana vokatra tsy manara-penitra, mikendry ny ho orinasa teknolojia avo lenta amin'ny fitaovana optoelektronika.