Laharana Famokisana Mifandray Efatra Dingana amin'ny Wafer Silicon / Silicon Carbide (SiC) (Laharana Fikirakirana Aorian'ny Famokisana Mitambatra)

Sary nasongadina momba ny Wafer Silicon / Silicon Carbide (SiC) ho an'ny famolahana mifampitohy dingana efatra (Tsipika fitantanana aorian'ny famolahana mitambatra)

Famaritana fohy:

Ity "Efatra-Dingana Mifandray amin'ny Famolesana Mandeha ho azy" ity dia vahaolana mitambatra sy an-tserasera natao ho an'nyaorian'ny famolahana / aorian'ny CMPny asa ataon'nysilisiômaSYkarbida silikônina (SiC)wafers. Namboarina manodidinampitatitra seramika (takelaka seramika), ity rafitra ity dia mampivondrona asa maromaro any aoriana ho lasa andalana iray mirindra—manampy ny orinasa hampihena ny fikirakirana tanana, hampiorina ny fotoana laniana amin'ny asa, ary hanamafy ny fanaraha-maso ny fahalotoan'ny rano.

Alefaso mailaka aminay

Toetoetra

Kisarisary amin'ny antsipiriany

Laharana Famokisana Mifandray Efatra Dingana amin'ny Wafer Silicon / Silicon Carbide (SiC) (Laharana Fikirakirana Aorian'ny Famokisana Mitambatra)4

Topimaso

Ao amin'ny famokarana semiconductor,fanadiovana mahomby aorian'ny CMPdia ekena betsaka ho dingana fototra hampihenana ny lesoka alohan'ny dingana manaraka, ary fomba fiasa mandroso (anisan'izanyfanadiovana megasonic) dia matetika resahina mba hanatsarana ny fahombiazan'ny fanesorana poti-javatra.

Ho an'ny SiC indrindra indrindra, nyhamafin'ny avo sy tsy fahatomombanana simikamahatonga ny famolahana ho sarotra (matetika mifandray amin'ny tahan'ny fanesorana akora ambany sy ny mety hisian'ny fahasimbana ambony kokoa amin'ny ety ambonin'ny tany/ambanin'ny tany), izay mahatonga ny fanaovana automatique maharitra aorian'ny famolahana sy ny fanadiovana/fikirakirana voafehy ho tena sarobidy.

Tombontsoa fototra

Tsipika tokana mitambatra izay manohana:

Fanasarahana sy fanangonana wafer(aorian'ny fanosorana)
Fitehirizana/fametrahana seramika
Fanadiovana fitoeran-javatra seramika
Fametahana (fametahana) wafer amin'ny fitaovana seramika
Fampandehanana miray hina, andalana iray ho an'nywafers 6–8 santimetatra

Famaritana ara-teknika (Avy amin'ny takelaka angon-drakitra nomena)

Refin'ny fitaovana (L×W×H):13643 × 5030 × 2300 mm
Herin'aratra:AC 380 V, 50 Hz
Hery manontolo:119 kW
Fahadiovan'ny fametrahana:0.5 μm < 50 isaky ny iray; 5 μm < 1 isaky ny iray
Fisaka ny fametrahana:≤ 2 µm

Referansa momba ny Throughput (Avy amin'ny takelaka angon-drakitra nomena)

Refin'ny fitaovana (L×W×H):13643 × 5030 × 2300 mm
Herin'aratra:AC 380 V, 50 Hz
Hery manontolo:119 kW
Fahadiovan'ny fametrahana:0.5 μm < 50 isaky ny iray; 5 μm < 1 isaky ny iray
Fisaka ny fametrahana:≤ 2 µm

Fikorianan'ny tsipika mahazatra

Fidirana / fifandraisana avy amin'ny faritra fanosotra miakatra
Fanasarahana sy fanangonana wafer
Fitehirizana/fametrahana fitaovana seramika (fanesorana mandritra ny fotoana tsy voafetra)
Fanadiovana fitoeran-javatra seramika
Fametrahana "wafer" eo amin'ny fitoeran-javatra (miaraka amin'ny fanaraha-maso ny fahadiovana sy ny fisakany)
Famatsiana mankany amin'ny dingana manaraka na ny logistika

FAQ

F1: Inona avy ireo olana tena vahana amin'ity andalana ity?
A: Manamora ny asa aorian'ny famolahana izy io amin'ny alàlan'ny fampidirana ny fisarahana/fanangonana wafer, ny fiarovana ny mpitatitra seramika, ny fanadiovana ny mpitatitra, ary ny fametrahana wafer ao anaty tsipika mandeha ho azy mirindra iray—mampihena ny fifandraisana amin'ny tanana sy mampilamina ny gadona famokarana.

F2: Inona avy ireo fitaovana sy habe wafer azo ampiasaina?
A:Silisiôma sy SiC,6–8 santimetatrawafers (arakaraka ny fepetra nomena).

F3: Nahoana no zava-dehibe ny fanadiovana aorian'ny CMP eo amin'ny indostria?
A: Asongadin'ny literatiora indostrialy fa nitombo ny fangatahana fanadiovana mahomby aorian'ny CMP mba hampihenana ny hakitroky ny lesoka alohan'ny dingana manaraka; matetika no ianarana ny fomba fiasa mifototra amin'ny megasonic mba hanatsarana ny fanesorana poti-javatra.

Momba anay

Manam-pahaizana manokana amin'ny fampivoarana, famokarana ary fivarotana fitaratra optika manokana sy fitaovana kristaly vaovao ny XKH. Manolotra fitaovana elektronika optika, fitaovana elektronika ho an'ny mpanjifa ary ho an'ny tafika ny vokatray. Manolotra singa optika Safira, fonon-tanana finday, seramika, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ary wafer kristaly semiconductor izahay. Manana fahaizana manokana sy fitaovana avo lenta izahay, ary miavaka amin'ny fanodinana vokatra tsy manara-penitra, mikendry ny ho orinasa teknolojia avo lenta amin'ny fitaovana optoelektronika.