2 inch 4 inch 6 inch Patterned Sapphire Substrate (PSS) izay ambolena ny fitaovana GaN dia azo ampiasaina amin'ny jiro LED.
Ny endri-javatra fototra
1. Toetra ara-drafitra:
Ny tontolon'ny PSS dia manana cone mirindra na lamina miendrika telozoro izay azo fehezina amin'ny alàlan'ny fanitsiana ny mari-pamantarana ny fizotran'ny etching.
Ireo rafitra sary ireo dia manampy amin'ny fanovana ny lalan'ny fampielezam-pahazavana ary mampihena ny taratry ny hazavana manontolo, ka manatsara ny fahombiazan'ny fitrandrahana hazavana.
2. Toetran'ny fitaovana:
Ny PSS dia mampiasa safira avo lenta ho fitaovana substrate, izay manana ny toetran'ny hamafin'ny avo, ny conductivity mafana avo lenta, ny fitoniana simika tsara ary ny mangarahara optika.
Ireo toetra ireo dia ahafahan'ny PSS mahatohitra ny tontolo henjana toy ny mari-pana ambony sy ny fanerena nefa mitazona fampisehoana optika tsara.
3. Optical fampisehoana:
Amin'ny alàlan'ny fanovana ny fiparitahana marobe eo amin'ny fifandraisana misy eo amin'ny GaN sy ny substrate safira, ny PSS dia mahatonga ny fotona hita taratra tanteraka ao anatin'ny sosona GaN hanana fahafahana handositra ny substrate safira.
Ity endri-javatra ity dia manatsara ny fahombiazan'ny fitrandrahana hazavana amin'ny LED ary manatsara ny famirapiratan'ny LED.
4. Toetran'ny dingana:
Ny fizotran'ny famokarana PSS dia somary sarotra, misy dingana maro toy ny lithography sy etching, ary mitaky fitaovana avo lenta sy fanaraha-maso ny fizotrany.
Na izany aza, miaraka amin'ny fandrosoan'ny teknolojia sy ny fampihenana ny vidiny, ny fizotran'ny famokarana PSS dia manatsara sy mihatsara tsikelikely.
Tombontsoa fototra
1. Manatsara ny fahombiazan'ny fitrandrahana hazavana: Ny PSS dia manatsara ny fahombiazan'ny fitrandrahana hazavana amin'ny LED amin'ny alàlan'ny fanovana ny lalan'ny fampielezana hazavana ary ny fampihenana ny fisaintsainana manontolo.
2. Mampitombo ny fiainan'ny LED: Ny PSS dia afaka mampihena ny hakitroky ny dislocation amin'ny fitaovana epitaxial GaN, ka mampihena ny recombination tsy taratra sy ny fivoahana amin'izao fotoana izao ao amin'ny faritra mavitrika, manitatra ny fiainan'ny LED.
3. Manatsara ny famirapiratan'ny LED: Noho ny fanatsarana ny fahombiazan'ny fitrandrahana hazavana sy ny fanitarana ny fiainana LED, dia nitombo be ny hamafin'ny hazavana LED amin'ny PSS.
4. Ahena ny vidin'ny famokarana: Na dia sarotra aza ny fizotran'ny famokarana PSS, dia afaka manatsara ny fahombiazan'ny hazavana sy ny fiainan'ny LED izany, ka mampihena ny vidin'ny famokarana amin'ny lafiny iray ary manatsara ny fifaninanana amin'ny vokatra.
Faritra fampiharana lehibe
1. Jiro LED: PSS ho fitaovana substrate ho an'ny chips LED, dia afaka manatsara ny fahombiazan'ny hazavana sy ny fiainan'ny LED.
Eo amin'ny sehatry ny jiro LED, ny PSS dia ampiasaina betsaka amin'ny vokatra jiro isan-karazany, toy ny jiro an-dalambe, jiro latabatra, jiro fiara sy ny sisa.
2. Fitaovana semiconductor: Ankoatra ny jiro LED, ny PSS dia azo ampiasaina amin'ny fanamboarana fitaovana semiconductor hafa, toy ny detector hazavana, lasers, sns. Ireo fitaovana ireo dia manana fampiharana marobe amin'ny fifandraisana, fitsaboana, miaramila ary sehatra hafa.
3.Optoelectronic integration: Ny fananana optika sy ny fahamarinan'ny PSS dia mahatonga azy ho iray amin'ireo fitaovana tsara indrindra amin'ny sehatry ny fampidirana optoelectronic. Amin'ny fampidirana optoelectronic, ny PSS dia azo ampiasaina amin'ny fanaovana waveguides optika, switch optika ary singa hafa mba hahatsapana ny fifindrana sy ny fanodinana ny famantarana optika.
Parameter ara-teknika
zavatra | Substrate safira misy modely (2 ~ 6 santimetatra) | ||
savaivony | 50,8 ± 0,1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
hateviny | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
Orientation ambonin'ny tany | fiaramanidina C (0001) miala amin'ny zoro mankany amin'ny M-axis (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
Fiaramanidina C (0001) miala amin'ny zoro mankany amin'ny A-axis (11-20) 0 ± 0.1° | |||
Primary Flat Orientation | A-fiaramanidina (11-20) ± 1.0° | ||
Length fisaka voalohany | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
R-fiaramanidina | 9 ora | ||
Front Surface Finish | ny modelin'ny | ||
Vita ny lamosina | SSP: tany tsara, Ra = 0.8-1.2um; DSP: Epi-pofona, Ra <0.3nm | ||
Laser Mark | Lafiny aoriana | ||
TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
LOHAN-TSAMBO | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
aretina | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
Edge Exclusion | ≤2 mm | ||
Famaritana ny lamina | Shape Structure | Dome, Cone, Piramida | |
Pattern Haavo | 1.6~1.8μm | ||
Savaivony modely | 2.75~2.85μm | ||
Espace Pattern | 0.1~0.3μm |
Ny XKH dia mifantoka amin'ny fampandrosoana, famokarana ary fivarotana substrate safira (PSS) modely, ary manolo-tena hanome vokatra PSS avo lenta sy avo lenta ho an'ny mpanjifa manerana izao tontolo izao. XKH dia manana teknolojia famokarana mandroso sy ekipa teknika matihanina, izay afaka mampifanaraka ny vokatra PSS amin'ny fepetra samihafa sy ny rafitra lamina samihafa araka ny filan'ny mpanjifa. Mandritra izany fotoana izany, ny XKH dia mandinika ny kalitaon'ny vokatra sy ny kalitaon'ny serivisy, ary manolo-tena hanome fanohanana ara-teknika sy vahaolana feno ho an'ny mpanjifa. Eo amin'ny sehatry ny PSS, XKH dia nanangona traikefa sy tombony manan-karena, ary manantena ny hiara-hiasa amin'ireo mpiara-miombon'antoka manerantany mba hampiroboroboana ny fivoaran'ny jiro LED, fitaovana semiconductor ary indostria hafa.
Diagram amin'ny antsipiriany


