6inch SiC Epitaxiy wafer N/P karazana manaiky namboarina
Ny fizotry ny fanomanana ny wafer epitaxial silisiôma karbida dia fomba iray amin'ny fampiasana ny haitao Chemical Vapor Deposition (CVD).Ireto manaraka ireto ny fitsipika ara-teknika mifandraika amin'izany sy ny dingana fanomanana:
Fitsipika ara-teknika:
Fipoahana entona simika: Mampiasa ny entona akora ao amin'ny dingan'ny entona, ao anatin'ny fepetra fanehoan-kevitra manokana, dia simba sy apetraka eo amin'ny substrate izany mba hamoronana sarimihetsika manify.
Fihetseham-pihetsiketsehana entona: Amin'ny alàlan'ny pyrolysis na fanehoan-kevitra mipoitra, ny gazy akora isan-karazany ao amin'ny dingan'ny entona dia ovaina amin'ny fomba simika ao amin'ny efitrano fanehoan-kevitra.
Dingana fanomanana:
Fitsaboana substrate: Ny substrate dia iharan'ny fanadiovana sy ny fitsaboana mialoha mba hiantohana ny kalitao sy ny kristaly ny wafer epitaxial.
Debugging efitrano fanehoan-kevitra: amboary ny mari-pana, ny tsindry ary ny tahan'ny fikorianan'ny efitrano fanehoan-kevitra sy ny masontsivana hafa mba hahazoana antoka ny fahamarinan-toerana sy ny fanaraha-maso ny toe-javatra.
Famatsiana akora manta: famatsiana ny akora manta entona ilaina ao amin'ny efitrano fanehoan-kevitra, mampifangaro sy mifehy ny taham-pidirana araka izay ilaina.
Fizotry ny fanehoan-kevitra: Amin'ny fanafanana ny efitrano fanehoan-kevitra, ny entona famatsiana dia mandalo fanehoan-kevitra simika ao amin'ny efitrano mba hamokatra ny tahiry tiana, izany hoe sarimihetsika silisiôma karbida.
Mangatsiaka sy manala entana: Amin'ny fiafaran'ny fanehoan-kevitra dia ampidinina tsikelikely ny hafanana mba hampangatsiaka sy hanamafisana ny fametrahana ao amin'ny efitrano fanehoan-kevitra.
Epitaxial wafer annealing sy post-processing: ny wafer epitaxial apetraka dia asiana ary aorian'ny fanodinana mba hanatsarana ny toetra elektrika sy optika.
Ny dingana sy ny fepetra manokana amin'ny fizotry ny fanomanana wafer epitaxial silisiôma dia mety miovaova arakaraka ny fitaovana sy ny fepetra manokana.Ny voalaza etsy ambony dia fikorianan'ny dingana sy fitsipika ankapobeny, ny fandidiana manokana dia mila ahitsy sy amboarina araka ny zava-misy marina.
Diagram amin'ny antsipiriany
![WechatIMG321](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG321.jpg)
![WechatIMG320](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG320.jpg)