Wafer Quartz Mifangaro Madio Avo ho an'ny Semiconductor, Fampiharana Optika Photonics 2″4″6″8″12″

Famaritana fohy:

Quartz mivaingana—fantatra ihany koa amin'ny hoeSilika mivaingana—dia endrika tsy kristaly (amorphous) an'ny silikônina dioksida (SiO₂). Tsy toy ny borosilicate na vera indostrialy hafa, ny quartz mivaingana dia tsy misy dopants na additives, izay manolotra firafitra simika madio amin'ny SiO₂. Malaza amin'ny fandefasana optika miavaka amin'ny alàlan'ny spektrum ultraviolet (UV) sy infrared (IR) izy io, mihoatra ny fitaovana fitaratra nentim-paharazana.

Alefaso mailaka aminay

Toetoetra

Kisarisary amin'ny antsipiriany

Wafers fitaratra silika sy quartz optika mifangaro-2

wafer_quartz_fused_4_inch_fused_silica_wafer_

Topimaso momba ny fitaratra Quartz

Ny "quartz wafers" no fototry ny fitaovana maoderina tsy tambo isaina izay mitondra ny tontolo nomerika ankehitriny. Manomboka amin'ny fitetezana amin'ny findainao ka hatramin'ny fototry ny toby fototra 5G, ny "quartz" dia manome mangina ny fahamarinan-toerana, ny fahadiovana ary ny fahamarinan-toerana ilaina amin'ny elektronika sy ny fotonika avo lenta. Na manohana ny circuitry azo ovaina, mamela ny sensor MEMS, na mamorona ny fototry ny informatika kuantum, ny toetra mampiavaka ny "quartz" dia mahatonga azy io ho tena ilaina amin'ny indostria rehetra.

"Silika Mitambatra" na "Quartz Mitambatra" izay dingana tsy misy endrika amin'ny quartz (SiO2). Raha ampitahaina amin'ny fitaratra borosilicate, ny silika mitambatra dia tsy misy akora fanampiny; noho izany dia misy amin'ny endriny madio izy, SiO2. Ny silika mitambatra dia manana fifindrana avo kokoa amin'ny spektrum infrared sy ultraviolet raha oharina amin'ny fitaratra mahazatra. Ny silika mitambatra dia vokarina amin'ny alàlan'ny fandrendrehana sy famerenana ny hamafin'ny SiO2 ultrapure. Ny silika mitambatra sentetika kosa dia vita amin'ny akora simika manankarena silikônina toy ny SiCl4 izay afangaro amin'ny entona ary avy eo dia oksidana ao anaty atmosfera H2 + O2. Ny vovoka SiO2 miforona amin'ity tranga ity dia afangaro amin'ny silika eo amin'ny substrate. Ny sakana silika mitambatra dia tapahina ho wafers ary avy eo dia polesina amin'ny farany ny wafers.

Vato fisaka vita amin'ny fitaratra silika sy fitaratra quartz optika mifangaro

Toetra sy Tombontsoa Manan-danja amin'ny Wafer Glass Quartz

Fahadiovana Avo Indrindra (≥99.99% SiO2)
Tsara indrindra ho an'ny dingana semiconductor sy fotonika madio dia madio izay tsy maintsy ahena ny fahalotoan'ny fitaovana.
Faritra fiasan'ny hafanana midadasika
Mitazona ny fahamarinan'ny firafiny manomboka amin'ny mari-pana cryogenic hatramin'ny mihoatra ny 1100°C tsy misy fiovana na fahasimbana.
Fandefasana UV sy IR miavaka
Manome fahazavana optika tena tsara manomboka amin'ny taratra ultraviolet lalina (DUV) ka hatramin'ny infrarouge akaiky (NIR), izay manohana ny fampiharana optika mazava tsara.
Koefisienan'ny fanitarana mafana ambany
Manatsara ny fahamarinan-toerana amin'ny refy na dia eo aza ny fiovaovan'ny mari-pana, mampihena ny fihenjanana ary manatsara ny fahatokisana ny dingana.
Fanoherana simika ambony
Tsy miraika amin'ny ankamaroan'ny asidra, alkali ary ranoka solvent—ka mahatonga azy ho mety tsara amin'ny tontolo simika mahery vaika.
Fahaiza-miovaova amin'ny famaranana ny velarana
Azo alaina amin'ny endrika voapoloka malefaka dia malefaka, amin'ny lafiny iray na amin'ny lafiny roa, mifanaraka amin'ny fepetra takian'ny photonics sy MEMS.

Fomba fanamboarana ny "Quartz Glass Wafer"

Ireo "wafers quartz" mifangaro dia vokarina amin'ny alalan'ny dingana maromaro voafehy sy mazava tsara:

Fifantenana akora manta
Fifantenana loharano quartz voajanahary madio avo lenta na SiO₂ sentetika.
Fandrendrehana sy Fifangaroana
Arendrika amin'ny ~2000°C ao anaty lafaoro elektrika ao ambanin'ny atmosfera voafehy ny quartz mba hanafoanana ny fifangaroana sy ny fiboiboika.
Fanamboarana sakana
Ampangatahina ho lasa vato mivaingana na ingôna ny silika mitsonika.
Fanapahana Wafer
Tsofa diamondra na tariby tena tsara no ampiasaina hanapahana ireo ingota ho lasa wafer blanks.
Famafazana sy famolahana
Samy fisaka sy voapoloka ireo velarana roa ireo mba hanaraka ny fepetra takiana ara-optika, hatevina ary harafesina marina.
Fanadiovana sy Fanaraha-maso
Diovina ao amin'ny efitrano madio ISO Class 100/1000 ny mofomamy manify ary iharan'ny fizahana hentitra mba hahitana ny lesoka sy ny refy mifanaraka amin'izany.

Toetran'ny wafer fitaratra Quartz

famaritana	singa	4"	6"	8"	10"	12"
Savaivony / habe (na efamira)	mm	100	150	200	250	300
Fandeferana (±)	mm	0.2	0.2	0.2	0.2	0.2
hateviny	mm	0.10 na mihoatra	0.30 na mihoatra	0.40 na mihoatra	0.50 na mihoatra	0.50 na mihoatra
Fisaka fanondroana voalohany	mm	32.5	57.5	Semi-notch	Semi-notch	Semi-notch
LTV (5mm×5mm)	μm	< 0.5	< 0.5	< 0.5	< 0.5	< 0.5
TTV	μm	< 2	< 3	< 3	< 5	< 5
LOHAN-TSAMBO	μm	±20	±30	±40	±40	±40
aretina	μm	≤ 30	≤ 40	≤ 50	≤ 50	≤ 50
PLTV (5mm×5mm) < 0.4μm	%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%	≥95%
Fanodinana sisiny	mm	Mifanaraka amin'ny fenitra SEMI M1.2 / jereo ny IEC62276
Karazana velarana		Lafiny iray voapoloka / Lafiny roa voapoloka
Lafiny voapoloka Ra	nm	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
Fepetra takiana amin'ny lafiny aoriana	μm	ankapobeny 0.2-0.7 na namboarina

Quartz vs. Akora Mangarahara Hafa

NY FANANANA	Fitaratra Quartz	Vera Borosilicate	safira	Fitaratra mahazatra
Mari-pana ambony indrindra amin'ny fiasana	~1100°C	~500°C	~2000°C	~200°C
Fandefasana UV	Tsara dia tsara (JGS1)	MAHANTRA	Tsara	Tena mahantra
Fanoherana simika	tsara	mampitony	tsara	MAHANTRA
fahadiovana	Avo dia avo	Ambany ka hatramin'ny antonony	Avo	IVA
Fanitarana ny hafanana	Ambany dia ambany	mampitony	IVA	Avo
MIRARY	Antonony ka hatramin'ny avo	IVA	Avo	Ambany dia ambany

Fanontaniana matetika apetraka momba ny Wafer fitaratra Quartz

F1: Inona no mahasamihafa ny quartz mivaingana sy ny silica mivaingana?
Na dia samy endrika tsy misy endrika aza ny SiO₂, ny quartz mivaingana dia mazàna avy amin'ny loharano quartz voajanahary, raha ny silica mivaingana kosa dia vokarina amin'ny fomba sentetika. Mitovy ny fiasany, saingy mety manana fahadiovana sy fitoviana ambony kokoa ny silica mivaingana.

F2: Azo ampiasaina amin'ny tontolo misy banga be ve ny wafer quartz mivaingana?
Eny. Noho ny tsy fahafahany mamoaka entona betsaka sy ny fanoherany ny hafanana be loatra, ny "fused quartz wafers" dia tena tsara ho an'ny rafitra banga sy ny fampiharana amin'ny fiaramanidina.

F3: Mety amin'ny fampiasana laser UV lalina ve ireto wafer ireto?
Mazava ho azy. Ny quartz mifangaro dia manana transmittance avo lenta hatramin'ny ~185 nm, ka mahatonga azy io ho tsara indrindra amin'ny optika DUV, saron-tava lithography, ary rafitra laser excimer.

F4: Manohana ny fanamboarana wafer manokana ve ianao?
Eny. Manolotra fanamboarana feno izahay, anisan'izany ny savaivony, ny hateviny, ny kalitaon'ny velarana, ny fisaka/voanjobory, ary ny lamina laser, mifototra amin'ny fepetra takiana manokana amin'ny fampiharanao.

Momba anay

Manam-pahaizana manokana amin'ny fampivoarana, famokarana ary fivarotana fitaratra optika manokana sy fitaovana kristaly vaovao ny XKH. Manolotra fitaovana elektronika optika, fitaovana elektronika ho an'ny mpanjifa ary ho an'ny tafika ny vokatray. Manolotra singa optika Safira, fonon-tanana finday, seramika, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ary wafer kristaly semiconductor izahay. Manana fahaizana manokana sy fitaovana avo lenta izahay, ary miavaka amin'ny fanodinana vokatra tsy manara-penitra, mikendry ny ho orinasa teknolojia avo lenta amin'ny fitaovana optoelektronika.

Wafer Safira tsy misy satroka, substrate safira manta avo lenta ho an'ny fanodinana 5