Wafer LNOI (LiNbO3 amin'ny Insulator) 8 santimetatra ho an'ny Modulator Optika Waveguides Faritra Mitambatra
Kisarisary amin'ny antsipiriany
Sava lalana
Ny "Wafers" Lithium Niobate on Insulator (LNOI) dia fitaovana maoderina ampiasaina amin'ny fampiharana optika sy elektronika mandroso isan-karazany. Ireo "wafers" ireo dia vokarina amin'ny famindrana sosona manify amin'ny lithium niobate (LiNbO₃) eo amin'ny substrate insulation, matetika silikônina na fitaovana hafa mety, amin'ny fampiasana teknika arifomba toy ny implantation ion sy ny wafer bonding. Ny teknolojia LNOI dia mitovy amin'ny teknolojia Silicon on Insulator (SOI) wafer saingy manararaotra ny toetra optika miavaka an'ny lithium niobate, fitaovana fantatra amin'ny toetrany piezoelectric, pyroelectric, ary nonlinear optika.
Nahazo ny sain'ny maro ny wafer LNOI amin'ny sehatra toy ny optika mitambatra, ny fifandraisan-davitra, ary ny kajy kuantum noho ny fahombiazany ambony amin'ny fampiharana avo lenta sy haingam-pandeha. Novokarina tamin'ny alàlan'ny teknika "Smart-cut" ireo wafer, izay ahafahana mifehy tsara ny hatevin'ny sarimihetsika manify lithium niobate, mba hahazoana antoka fa mahafeno ny fepetra takiana amin'ny fampiharana isan-karazany ireo wafer.
TORO LALAN'NY
Ny dingana famoronana wafer LNOI dia manomboka amin'ny kristaly lithium niobate matevina. Ny kristaly dia mandalo fametrahana ion, izay ampidirana ion helium mahery vaika eo amin'ny velaran'ny kristaly lithium niobate. Ireo ion ireo dia miditra ao amin'ny kristaly hatramin'ny halaliny voafaritra ary manakorontana ny firafitry ny kristaly, ka mamorona planina marefo izay azo ampiasaina hanasarahana ny kristaly ho sosona manify. Ny angovo manokan'ny ion helium no mifehy ny halaliny fametrahana, izay misy fiantraikany mivantana amin'ny hatevin'ny sosona lithium niobate farany.
Aorian'ny fametrahana ion, dia afatotra amin'ny substrate ny kristaly lithium niobate amin'ny alàlan'ny teknika antsoina hoe wafer bonding. Ny dingana famatorana dia mazàna mampiasa fomba famatorana mivantana, izay anerena ireo velarana roa (ny kristaly lithium niobate napetraka ion sy ny substrate) miaraka amin'ny mari-pana sy tsindry avo mba hamoronana famatorana matanjaka. Amin'ny tranga sasany, dia azo ampiasaina ho fanohanana fanampiny ny fitaovana lakaoly toy ny benzocyclobutene (BCB).
Aorian'ny fifamatorana dia mandalo dingana fanafanana ilay wafer mba hanamboarana izay fahasimbana vokatry ny fampidirana ion sy hanatsarana ny fifamatorana eo amin'ireo sosona. Ny dingana fanafanana koa dia manampy ny sosona lithium niobate manify hisaraka amin'ny kristaly tany am-boalohany, ka mamela sosona lithium niobate manify sy avo lenta izay azo ampiasaina amin'ny fanamboarana fitaovana.
fepetra arahana
Ny wafer LNOI dia miavaka amin'ny fepetra maromaro manan-danja izay miantoka ny fahafahany ampiasaina amin'ny fampiharana avo lenta. Anisan'izany ireto:
Famaritana ny akora
| Akora | Fepetra takiana |
| KEVITRA | Mitovy: LiNbO3 |
| Kalitaon'ny fitaovana | Bobongolo na fampidirana <100μm |
| Fitarihana | Y-tapaka ±0.2° |
| hakitroky | 4.65 g/sm³ |
| Mari-pana Curie | 1142 ±1°C |
| mangarahara | >95% amin'ny elanelana 450-700 nm (hatevina 10 mm) |
Fepetra takiana amin'ny famokarana
| Paramètre | Famaritana |
| savaivony | 150 mm ±0.2 mm |
| hateviny | 350 μm ±10 μm |
| Fisaka | <1.3 μm |
| Fiovaovan'ny hateviny manontolo (TTV) | Miolana <70 μm @ wafer 150 mm |
| Fiovaovan'ny hateviny eo an-toerana (LTV) | <70 μm @ wafer 150 mm |
| fahombiazana | Rq ≤0.5 nm (sandan'ny AFM RMS) |
| Kalitaon'ny ety ambonin'ny tany | 40-20 |
| Poti-javatra (Tsy azo esorina) | 100-200 μm ≤3 poti-javatra |
| poti | <300 μm (wafer feno, tsy misy faritra voarara) |
| triatra | Tsy misy triatra (vato fisaka feno) |
| fandotoana | Tsy misy tasy tsy azo esorina (wafer feno) |
| fitoviana | <30 segondra arc |
| Filaharana Fanondroana (X-axis) | 47 ±2 mm |
Fampiharana
Ampiasaina amin'ny sehatra maro samihafa ny wafer LNOI noho ny toetrany miavaka, indrindra amin'ny sehatry ny fotonika, fifandraisan-davitra, ary teknolojia kuantum. Ireto ny sasany amin'ireo fampiharana fototra:
Optika mitambatra:Ampiasaina betsaka amin'ny fizaran-tany optika mitambatra ny wafer LNOI, izay ahafahan'izy ireo mampiasa fitaovana fotonika avo lenta toy ny modulators, waveguides, ary resonators. Ny toetra optika tsy linear avo lenta an'ny lithium niobate dia mahatonga azy io ho safidy tsara indrindra ho an'ny fampiharana izay mitaky fanodinana hazavana mahomby.
Fifandraisan-davitra:Ampiasaina amin'ny modulator optika ny wafer LNOI, izay singa tena ilaina amin'ny rafitra fifandraisana haingam-pandeha, anisan'izany ny tambajotra fibre optika. Ny fahafahana manova ny hazavana amin'ny matetika avo dia mahatonga ny wafer LNOI ho tsara indrindra amin'ny rafitra fifandraisan-davitra maoderina.
Kajy kuantum:Ao amin'ny teknolojia kuantum, ny wafer LNOI dia ampiasaina hanamboarana singa ho an'ny solosaina kuantum sy rafitra fifandraisana kuantum. Ny toetra optika tsy linearin'ny LNOI dia ampiasaina hamoronana tsiroaroa photon mifamatotra, izay tena ilaina amin'ny fizarana lakile kuantum sy ny kriptografia kuantum.
Sela:Ampiasaina amin'ny fampiharana fitiliana isan-karazany ny wafer LNOI, anisan'izany ny sensor optika sy akostika. Ny fahafahany mifandray amin'ny hazavana sy ny feo dia mahatonga azy ireo ho azo ampiasaina amin'ny karazana teknolojia fitiliana samihafa.
FAQ
Q:Inona no atao hoe teknolojia LNOI?
A: Ny teknolojia LNOI dia ny famindrana sarimihetsika lithium niobate manify eo amin'ny substrate insulation, matetika silicon. Ity teknolojia ity dia mampiasa ireo toetra miavaka an'ny lithium niobate, toy ny toetra optika tsy linear avo lenta, piezoelectricity, ary pyroelectricity, ka mahatonga azy io ho tsara indrindra amin'ny optika sy fifandraisan-davitra mitambatra.
Q:Inona no mahasamihafa ny wafer LNOI sy SOI?
A: Samy mitovy ny wafer LNOI sy SOI satria misy sosona manify mifamatotra amin'ny substrate. Na izany aza, ny wafer LNOI dia mampiasa lithium niobate ho toy ny fitaovana sarimihetsika manify, raha ny wafer SOI kosa mampiasa silikônina. Ny fahasamihafana lehibe dia eo amin'ny toetran'ny fitaovana sarimihetsika manify, miaraka amin'ny LNOI manolotra toetra optika sy piezoelektrika ambony kokoa.
Q:Inona avy ireo tombony azo amin'ny fampiasana wafer LNOI?
A: Ny tombony lehibe amin'ny wafer LNOI dia ny toetrany optika tena tsara, toy ny coefficients optika tsy lineary avo lenta, ary ny tanjany mekanika. Ireo toetra ireo dia mahatonga ny wafer LNOI ho tsara ampiasaina amin'ny hafainganam-pandeha avo lenta, matetika avo lenta, ary fampiharana kuantum.
Q:Azo ampiasaina amin'ny fampiharana kuantum ve ny wafer LNOI?
A: Eny, ampiasaina betsaka amin'ny teknolojia kuantum ny wafer LNOI noho ny fahafahany mamorona mpivady photon mifamatotra sy ny fifanarahan'izy ireo amin'ny photonics mitambatra. Ireo toetra ireo dia tena ilaina amin'ny fampiharana amin'ny informatika kuantum, fifandraisana ary cryptography.
Q:Manao ahoana ny hatevin'ny sarimihetsika LNOI mahazatra?
A:Matetika ny hatevin'ny sarimihetsika LNOI dia manomboka amin'ny nanometera an-jatony vitsivitsy ka hatramin'ny mikrômetatra maromaro, miankina amin'ny fampiharana manokana. Ny hateviny dia fehezina mandritra ny dingana fametrahana ion.
