8inch LNOI (LiNbO3 on Insulator) Wafer ho an'ny Optical Modulators Waveguides Integrated Circuits
Diagram amin'ny antsipiriany
Sava lalana
Lithium Niobate on Insulator (LNOI) wafers dia fitaovana faran'izay tsara ampiasaina amin'ny fampiharana optika sy elektronika mandroso. Ireo wafers ireo dia novokarina tamin'ny alàlan'ny fifindrana ny lithium niobate (LiNbO₃) sosona manify amin'ny substrate insulating, matetika silisiôma na akora hafa mety, amin'ny fampiasana teknika be pitsiny toy ny fametrahana ion sy ny fatorana wafer. Ny teknolojia LNOI dia mizara fitoviana maro amin'ny teknolojia wafer Silicon on Insulator (SOI) saingy manararaotra ny toetra optika tsy manam-paharoa amin'ny lithium niobate, fitaovana iray fantatra amin'ny toetrany optika piezoelectric, pyroelectric, ary nonlinear.
Ny wafers LNOI dia nahasarika ny sain'ny maro amin'ny sehatra toy ny optika mitambatra, fifandraisan-davitra, ary informatika quantum noho ny fahaizany ambony amin'ny fampiharana avo lenta sy haingam-pandeha. Ny wafers dia novokarina tamin'ny alalan'ny teknika "Smart-cut", izay ahafahana mifehy tsara ny hatevin'ny sarimihetsika manify lithium niobate, miantoka ny mahafeno ny fepetra takiana amin'ny fampiharana isan-karazany ny wafers.
TORO LALAN'NY
Ny dingan'ny famoronana wafers LNOI dia manomboka amin'ny kristaly lithium niobate. Ny kristaly dia mandalo ion implantation, izay misy ion helium mahery vaika ampidirina amin'ny endriky ny kristaly lithium niobate. Ireo ion ireo dia miditra ao amin'ny kristaly amin'ny halaliny manokana ary manakorontana ny rafitra kristaly, mamorona fiaramanidina marefo izay azo ampiasaina hanasarahana ny kristaly ho sosona manify. Ny angovo manokana amin'ny ion helium dia mifehy ny halalin'ny implantation, izay misy fiantraikany mivantana amin'ny hatevin'ny layer lithium niobate farany.
Aorian'ny fametrahana ion, ny kristaly lithium niobate dia mifamatotra amin'ny substrate amin'ny fampiasana teknika antsoina hoe fatorana wafer. Ny fizotry ny fatorana matetika dia mampiasa fomba fatorana mivantana, izay ahitan'ireo velarana roa (ny kristaly lithium niobate ion-implanted sy ny substrate) miaraka amin'ny mari-pana ambony sy ny tsindry mba hamoronana fifamatorana matanjaka. Amin'ny toe-javatra sasany, ny fitaovana adhesive toy ny benzocyclobutene (BCB) dia azo ampiasaina ho fanohanana fanampiny.
Aorian'ny famatorana, ny wafer dia mandalo dingan'ny fanodinkodinana mba hanamboarana izay fahasimbana ateraky ny fametahana ion sy hanatsarana ny fifamatorana eo amin'ireo sosona. Ny dingan'ny fametahana dia manampy koa ny sosona lithium niobate manify mba hiala amin'ny kristaly tany am-boalohany, ka mamela sosona lithium niobate manify sy avo lenta izay azo ampiasaina amin'ny fanamboarana fitaovana.
fepetra arahana
Ny wafers LNOI dia miavaka amin'ny famaritana manan-danja maromaro izay miantoka ny fahatomombanan'izy ireo amin'ny fampiharana avo lenta. Anisan'izany ny:
Famaritana ara-materialyny
| nyFitaovanany | nySpecificationsny |
| KEVITRA | Mitovitovy: LiNbO3 |
| Quality Material | Bubbles na fampidirana <100μm |
| Orientation | Y-cut ± 0.2° |
| hakitroky | 4,65 g/cm³ |
| Temperature Curie | 1142 ± 1°C |
| mangarahara | >95% amin'ny elanelana 450-700 nm (10 mm ny hateviny) |
Manufacturing Specificationsny
| nyParameterny | nySpecificationny |
| savaivony | 150 mm ± 0,2 mm |
| hateviny | 350 μm ± 10 μm |
| fisaka | <1.3 μm |
| Fiovaovan'ny hateviny (TTV) | Fandrefesana <70 μm @ wafer 150 mm |
| Fiovaovan'ny hateviny eo an-toerana (LTV) | <70 μm @ 150 mm wafer |
| fahombiazana | Rq ≤0.5 nm (sanda AFM RMS) |
| Quality Surface | 40-20 |
| Particle (tsy azo esorina) | 100-200 μm ≤3 poti |
| poti | <300 μm (voankazo feno, tsy misy faritra voahilika) |
| triatra | Tsy misy triatra (wafer feno) |
| fandotoana | Tsy misy tasy tsy azo esorina (wafer feno) |
| fitoviana | <30 segondra |
| Vidiny fanondroana orientation (axis X) | 47 ± 2 mm |
Applications
Ny wafers LNOI dia ampiasaina amin'ny fampiharana isan-karazany noho ny fananany manokana, indrindra eo amin'ny sehatry ny fotonika, fifandraisan-davitra ary ny teknolojia quantum. Ny sasany amin'ireo fampiharana lehibe dia ahitana:
Optika Integrated:Ny wafers LNOI dia ampiasaina betsaka amin'ny faritra optika mitambatra, izay ahafahan'izy ireo miasa amin'ny fitaovana photonic avo lenta toy ny modulators, waveguides, ary resonator. Ny fananana optique tsy an-tariby avo lenta amin'ny lithium niobate dia mahatonga azy ho safidy tsara ho an'ny fampiharana mitaky fanodinkodinana hazavana mahomby.
Fifandraisana:Ny wafer LNOI dia ampiasaina amin'ny modulator optika, izay singa tena ilaina amin'ny rafi-pifandraisana haingam-pandeha, anisan'izany ny tambajotra fibre optic. Ny fahaizana manova ny hazavana amin'ny onjam-peo avo dia mahatonga ny wafer LNOI ho tonga lafatra ho an'ny rafitra fifandraisan-davitra maoderina.
Quantum computing:Amin'ny teknolojia quantum, ny wafers LNOI dia ampiasaina hanamboarana singa ho an'ny ordinatera quantum sy rafitra fifandraisana quantum. Ny fananana optika tsy an-tariby an'ny LNOI dia ampiasaina mba hamoronana tsiron-tsarimihetsika mifamatotra, izay manan-danja amin'ny fizarana key quantum sy cryptography quantum.
Sensors:Ny wafers LNOI dia ampiasaina amin'ny fampiharana fandrefesana isan-karazany, ao anatin'izany ny sensor optika sy acoustic. Ny fahafahan'izy ireo mifandray amin'ny hazavana sy ny feo dia mahatonga azy ireo ho azo ampiasaina amin'ny karazana teknolojian'ny fandrefesana.
FAQ
Q:Inona ny teknolojia LNOI?
A: Ny teknolojia LNOI dia misy ny famindrana sarimihetsika lithium niobate manify eo amin'ny substrate insulating, matetika silisiôma. Ity teknôlôjia ity dia mampiasa ny toetra mampiavaka ny lithium niobate, toy ny toetrany optika tsy misy linear avo, piezoelectricity ary pyroelectricity, ka mahatonga azy io ho tsara ho an'ny optika sy fifandraisan-davitra.
Q:Inona no maha samy hafa ny LNOI sy SOI wafers?
A: Mitovy ny wafer LNOI sy SOI satria misy akora manify mifatotra amin'ny substrate. Na izany aza, ny wafers LNOI dia mampiasa lithium niobate ho fitaovana sarimihetsika manify, raha mampiasa silisiôma kosa ny wafer SOI. Ny fahasamihafana lehibe dia ny fananan'ny fitaovana sarimihetsika manify, miaraka amin'ny LNOI manolotra fananana optika sy piezoelectric ambony.
Q:Inona no tombony azo amin'ny fampiasana wafer LNOI?
A: Ny tombony lehibe indrindra amin'ny wafers LNOI dia ahitana ny fananana optique tsara indrindra, toy ny coefficient optika tsy mitongilana avo, ary ny tanjany mekanika. Ireo toetra ireo dia mahatonga ny wafer LNOI ho tonga lafatra ho an'ny fampiasana amin'ny fampiharana haingam-pandeha, avo lenta ary quantum.
Q:Azo ampiasaina amin'ny fampiharana quantum ve ny wafer LNOI?
A: Eny, ny wafers LNOI dia ampiasaina betsaka amin'ny teknolojia quantum noho ny fahaizany mamokatra tsiron-tsarimihetsika mifamatotra sy mifanaraka amin'ny fotonika mitambatra. Ireo fananana ireo dia tena ilaina amin'ny fampiharana amin'ny computing quantum, fifandraisana ary cryptography.
Q:Inona ny hatevin'ny sarimihetsika LNOI?
A: Ny horonan-tsarimihetsika LNOI dia matetika manomboka amin'ny nanometera an-jatony vitsivitsy ka hatramin'ny mikrometatra maromaro amin'ny hateviny, miankina amin'ny fampiharana manokana. Ny hateviny dia voafehy mandritra ny fizotry ny implantation.
