LNOI Wafer (Lithium Niobate on Insulator) Telecommunications Sensing High Electro-Optic
Diagram amin'ny antsipiriany
Overview
Ao anatin'ilay boaty wafer dia misy asymmetrical grooves, ny refy dia mitovy tanteraka hanohanana ny lafiny roa amin'ny wafer. Ny boaty kristaly dia matetika vita amin'ny fitaovana PP plastika translucent izay mahatohitra ny hafanana, ny fitafy ary ny herinaratra static. Ny loko isan-karazany amin'ny additives dia ampiasaina hanavaka ny fizarana metaly amin'ny famokarana semiconductor. Noho ny haben'ny fanalahidy kely amin'ny semiconductor, ny lamina matevina, ary ny fepetra henjana amin'ny haben'ny ampahany amin'ny famokarana, ny boaty wafer dia tsy maintsy miantoka ny tontolo iainana madio mba hifandraisana amin'ny lavaka fanehoan-kevitry ny boaty microenvironment amin'ny milina famokarana samihafa.
Fabrication Methodology
Ny fanamboarana ny wafer LNOI dia misy dingana maromaro:
Dingana 1: Helium Ion ImplantationNy ion helium dia ampidirina ao anaty kristaly LN betsaka amin'ny alàlan'ny implanter ion. Mipetraka amin'ny halaliny manokana ireo ion ireo, ka mamorona fiaramanidina malemy izay hanamora ny fisintonana sarimihetsika amin'ny farany.
Dingana 2: Famoronana substrate fototraNy silicone misaraka na LN wafer dia oxidized na sosona amin'ny SiO2 mampiasa PECVD na thermal oxidation. Ny tampon'izy io dia voalamina tsara ho an'ny fatorana tsara indrindra.
Dingana 3: Famatorana ny LN amin'ny substrateNy krystaly LN apetraka amin'ny ion dia avadika ary mipetaka amin'ny wafer fototra amin'ny alàlan'ny fatorana wafer mivantana. Amin'ny toe-javatra fikarohana, ny benzocyclobutene (BCB) dia azo ampiasaina ho adhesive hanatsorana ny fatorana amin'ny fepetra tsy dia henjana.
Dingana 4: Fitsaboana mafana sy fanasarahana sarimihetsikaNy fanerena dia manetsika ny fiforonan'ny bubble amin'ny halalin'ny ambolena, ahafahana manasaraka ny sarimihetsika manify (sosona LN ambony) amin'ny ampahany betsaka. Ny hery mekanika dia ampiasaina mba hamitana ny exfoliation.
Dingana 5: fanosotra ambonin'nyNy fametahana mekanika simika (CMP) dia ampiharina mba hanamaivanana ny toeran'ny LN ambony, hanatsarana ny kalitaon'ny optika sy ny vokatra azo avy amin'ny fitaovana.
Paramètre ara-teknika
| KEVITRA | Optical kilasy LiNbO3 ovy (White or mainty) | |
| Curie Temp | 1142±0,7 ℃ | |
| fanapahana fiolahana | X/Y/Z sns | |
| Savaivony/habe | 2”/3”/4” ±0.03mm | |
| Tol(±) | <0,20 mm ± 0,005 mm | |
| hateviny | 0.18 ~ 0.5mm na mihoatra | |
| KILONGA fisaka | 16mm/22mm/32mm | |
| TTV | <3μm | |
| LOHAN-TSAMBO | -30 | |
| aretina | <40μm | |
| Orientation fisaka | Misy daholo | |
| Surface Type | Ny ilany tokana voapoizina (SSP)/Ny lafiny roa voapoizina (DSP) | |
| voalambolambo lafiny Ra | <0.5nm | |
| S/D | 20/10 | |
| sisin'ny mason-tsivana | R=0.2mm C-karazana or Bullnose | |
| kalitao | maimaim-poana of crack (bubbles SY fampidirana) | |
| Optical doped | Mg/Fe/Zn/MgO sns HO AN'NY optika kilasy Boky ny mofo misy isaky ny nangataka | |
| mofo manify Surface mason-tsivana | Fanondroana refractive | No=2.2878/Ne=2.2033 @632nm wavelength/prisma coupler fomba. |
| Fandotoana, | tsy misy | |
| poti c>0,3μ m | <=30 | |
| Scratch, Mitetika | tsy misy | |
| kilema | Tsy misy vakivaky ny sisiny, vaky, tsofa, tasy | |
| Fonosana | Qty/Wafer boaty | 25pcs isaky ny boaty |
Use Cases
Noho ny fahaizany sy ny fahombiazany, ny LNOI dia ampiasaina amin'ny indostria maro:
Photonics:Compact modulators, multiplexers, ary photonic circuits.
RF/Acoustics:Acousto-optic modulators, RF sivana.
Quantum Computing:Mixers matetika tsy linear sy mpamokatra photon-pair.
Fiarovana & Aerospace:Gyros optika ambany fatiantoka, fitaovana fanovàna matetika.
Fitaovana ara-pitsaboana:Optical biosensors sy avo-fandrefesana famantarana famantarana.
FAQ
F: Nahoana no LNOI no tiana kokoa noho ny SOI amin'ny rafitra optika?
A:Ny LNOI dia manana coefficient électro-optique tsara kokoa sy fangaraharana midadasika kokoa, ahafahana manao asa ambony kokoa amin'ny faritra fotonika.
F: Tsy maintsy atao ve ny CMP aorian'ny fisarahana?
A:Eny. Manjavozavo ny velaran'ny LN mibaribary aorian'ny fitetezana ion ary tsy maintsy hosorina mba hahafeno ireo fepetra optique.
F: Inona ny haben'ny wafer ambony indrindra misy?
A:Ny wafers LNOI ara-barotra dia 3" sy 4" voalohany indrindra, na dia manamboatra karazany 6" aza ny mpamatsy sasany.
F: Azo ampiasaina indray ve ny sosona LN aorian'ny fisarahana?
A:Ny kristaly fototra dia azo havaozina sy ampiasaina imbetsaka, na dia mety hiharatsy aza ny kalitao aorian'ny tsingerina maromaro.
F: Mifanaraka amin'ny fanodinana CMOS ve ny wafer LNOI?
A:Eny, natao hifanaraka amin'ny fizotran'ny fanamboarana semiconductor mahazatra izy ireo, indrindra rehefa ampiasaina ny substrate silisiôna.
