LNOI Wafer (Lithium Niobate amin'ny Insulator) Fifandraisan-davitra Sensing High Electro-Optic
Kisarisary amin'ny antsipiriany
Topimaso
Ao anatin'ny boaty wafer dia misy lavaka simetrika, izay mitovy tsara ny refiny mba hanohanana ny lafiny roa amin'ny wafer. Ny boaty kristaly dia vita amin'ny plastika mangarahara PP izay mahatohitra ny mari-pana, ny fikikisana ary ny herinaratra statika. Ny loko samihafa amin'ny akora fanampiny dia ampiasaina hanavahana ny fizarana metaly amin'ny famokarana semiconductor. Noho ny haben'ny semiconductor kely, ny lamina matevina, ary ny fepetra takiana henjana momba ny haben'ny poti amin'ny famokarana, ny boaty wafer dia tsy maintsy antoka fa madio ny tontolo iainana mba hifandraisana amin'ny lavaka fanehoan-kevitra ao amin'ny boaty amin'ny milina famokarana samihafa.
Fomba fanamboarana
Ny fanamboarana ny wafer LNOI dia misy dingana maromaro mazava tsara:
Dingana 1: Fametrahana Helium IonAmpidirina ao anaty kristaly LN betsaka amin'ny alalan'ny fitaovana fampidirana ion ny iôna hélium. Ireo iôna ireo dia mipetraka amin'ny halaliny voafaritra, ka mamorona sehatra malemy izay amin'ny farany dia hanamora ny fisarahana ny sarimihetsika.
Dingana 2: Fiforonan'ny fototraAsiana oksidana na sosona SiO2 amin'ny alalan'ny PECVD na oksidana mafana ny wafer silikônina na LN misaraka. Atao fisaka ny velarany ambony mba hahazoana fifamatorana tsara indrindra.
Dingana 3: Fampiraisana ny LN amin'ny SubstrateAvadika ary apetaka amin'ny "wafer" fototra ny kristaly LN napetraka amin'ny ion amin'ny alalan'ny fampifandraisana mivantana amin'ny "wafer". Ao amin'ny sehatry ny fikarohana, ny benzocyclobutene (BCB) dia azo ampiasaina ho lakaoly mba hanamorana ny fampifandraisana amin'ny toe-javatra tsy dia henjana loatra.
Dingana 4: Fitsaboana amin'ny hafanana sy fisarahana sarimihetsikaNy fanafanana dia mampihetsika ny fiforonan'ny banga eo amin'ny halalin'ny zavatra napetraka, ka ahafahana manasaraka ny sarimihetsika manify (sosona LN ambony) amin'ny ampahany. Ampiasaina ny hery mekanika mba hamitana ny fanesorana ny hoditra.
Dingana 5: Famolahana ny velaranaAmpiharina ny Fanosiana Simika sy Mekanika (CMP) mba hanalefahana ny velaran'ny LN ambony, hanatsarana ny kalitaon'ny optika sy ny vokatra azo avy amin'ny fitaovana.
Masontsivana ara-teknika
| KEVITRA | Optika kilasy LiNbO3 wafes (Fotsy or Mainty) | |
| Curie Temp | 1142±0.7℃ | |
| fanapahana fiolahana | X/Y/Z sns | |
| Diameter/habeny | 2"/3"/4" ±0.03mm | |
| Tol(±) | <0.20 mm ±0.005mm | |
| hateviny | 0.18～0.5mm na mihoatra | |
| KILONGA fisaka | 16mm/22mm/32mm | |
| TTV | <3μm | |
| LOHAN-TSAMBO | -30 | |
| aretina | <40μm | |
| Fitarihana fisaka | Azo alaina avokoa ny rehetra | |
| Ety ambonin'ny tany Karazana | Lafiny tokana voapoloka (SSP) / Lafiny roa voapoloka (DSP) | |
| voalambolambo lafiny Ra | <0.5nm | |
| S/D | 20/10 | |
| sisin'ny mason-tsivana | R=0.2mm Karazana C or Orona boribory | |
| Kalitao | maimaim-poana of vaky (boiboika SY fampidirana) | |
| Optika nodorana | Mg/Fe/Zn/MgO sns HO AN'NY optika kilasy Boky ny mofo misy isaky ny nangataka | |
| mofo manify Ety ambonin'ny tany mason-tsivana | Tondro refractive | Tsia=2.2878/Ne=2.2033 @632nm fomba fampifandraisana onjam-peo/prisma. |
| Fahalotoana, | tsy misy | |
| poti c>0.3μ m | <=30 | |
| Ratra, Potipotika | tsy misy | |
| kilema | Tsy misy triatra, rangotra, dian-tsofa, tasy amin'ny sisiny | |
| Fonosana | Isany/Boaty Wafer | 25pcs isaky ny boaty |
Tranga fampiasana
Noho ny fahaizany mampiasa azy sy ny fahombiazany, ny LNOI dia ampiasaina amin'ny indostria maro:
Fotonika:Modulatora kely, multiplexer, ary fizaran-tany fotonika.
RF/Acoustic:Mpandrindra akostika-optika, sivana RF.
Kajy kuantum:Mpangaro matetika tsy lineary sy mpamokatra foton-pair.
Fiarovana sy Habakabaka:Gyros optika ambany fatiantoka, fitaovana manova matetika.
Fitaovana ara-pitsaboana:Biosensor optika sy probe famantarana avo lenta.
FAQ
F: Nahoana no aleo kokoa ny LNOI noho ny SOI amin'ny rafitra optika?
A:Ny LNOI dia manana coefficients elektro-optika ambony kokoa sy elanelana mangarahara midadasika kokoa, izay ahafahana mahazo fahombiazana ambony kokoa amin'ny fizaran-tany fotonika.
F: Tsy maintsy atao ve ny CMP aorian'ny fisarahana?
A:Eny. Marokoroko ny velaran'ny LN mibaribary rehefa avy notapatapahina tamin'ny ion ary tsy maintsy polesina mba hanarahana ny fepetra takiana amin'ny kilasy optika.
F: Inona ny haben'ny wafer ambony indrindra azo ampiasaina?
A:Ny wafer LNOI ara-barotra dia 3" sy 4" amin'ny ankapobeny, na dia misy mpamatsy sasany aza mampivelatra karazany 6".
F: Azo ampiasaina indray ve ny sosona LN aorian'ny fisarahana?
A:Azo averina diovina sy ampiasaina indray imbetsaka ny kristaly fototra, na dia mety hiharatsy aza ny kalitaony rehefa afaka tsingerina maromaro.
F: Mifanaraka amin'ny fanodinana CMOS ve ny wafer LNOI?
A:Eny, natao hifanaraka amin'ny dingana fanamboarana semiconductor mahazatra izy ireo, indrindra rehefa ampiasaina ny substrate silikônina.
