Masinina tsofa diamondra marobe ho an'ny akora simba faran'izay mafy safira SiC
Fampidirana amin'ny milina fanatsatso diamondra marobe
Ny milina tsofa diamondra maro tariby dia rafitra manara-penitra manara-penitra natao ho an'ny fanodinana akora mafy sy mora vaky. Amin'ny alàlan'ny fametrahana tariby mifono diamondra maro mifanitsy, ny milina dia afaka manapaka wafers maromaro ao anatin'ny tsingerina iray, ka mahatatra ny vokatra avo lenta sy ny fahitsiana. Ity teknolojia ity dia lasa fitaovana ilaina amin'ny indostria toy ny semiconductor, photovoltaics solar, LED, ary seramika mandroso, indrindra ho an'ny fitaovana toa ny SiC, safira, GaN, quartz ary alumina.
Raha ampitahaina amin'ny fanapahana tariby tokana mahazatra, ny fikirakirana tariby marobe dia manome tsipika am-polony ho an-jatony isaky ny andiany, mampihena be ny vanim-potoanan'ny tsingerina ary mitazona ny fahamendrehana tsara (Ra < 0.5 μm) ary ny mari-pamantarana (± 0.02 mm). Ny famolavolana modular azy dia mampiditra ny fihenjanana tariby mandeha ho azy, ny rafitra fitantanana ny fitaovana, ary ny fanaraha-maso an-tserasera, miantoka ny famokarana maharitra, maharitra ary mandeha ho azy tanteraka.
Parametera ara-teknika amin'ny milina fanatsatso diamondra marobe
| zavatra | famaritana | zavatra | famaritana |
|---|---|---|---|
| Haben'asa ambony indrindra (efamira) | 220 × 200 × 350 mm | Mandeha motera | 17,8 kW × 2 |
| Haben'asa ambony indrindra (Ronina) | Φ205 × 350 mm | Wire drive maotera | 11,86 kW × 2 |
| Spacing spindle | Φ250 ± 10 × 370 × 2 axe (mm) | maotera fanandratana latabatra fiasana | 2,42 kW × 1 |
| Principal axis | 650 mm | Motor swing | 0,8 kW × 1 |
| Haingam-pandeha mihazakazaka | 1500 m/min | Arrangement moteur | 0,45 kW × 2 |
| Savaivony tariby | Φ0.12–0.25 mm | Motor tension | 4,15 kW × 2 |
| Haingana haingana | 225 mm/min | Slurry motera | 7,5 kW × 1 |
| Max. fihodinana latabatra | ±12° | Ny fahafahan'ny tanky slurry | 300 L |
| Zoro swing | ±3° | Fikorianan'ny coolant | 200 L/min |
| Frequency swing | ~30 fotoana/min | Temp. araka ny marina | ±2 °C |
| tahan'ny sakafo | 0,01–9,99 mm/min | Herin'aratra | 335+210 (mm²) |
| Ny tahan'ny famahanana tariby | 0,01–300 mm/min | Rivotra voaporitra | 0.4–0.6 MPa |
| Haben'ny milina | 3550 × 2200 × 3000 mm | lanja | 13.500 kg |
Mekanisma miasa amin'ny milina fanatsatso diamondra marobe
-
Hetsika fanapahana tariby maro
Ny tariby diamondra marobe dia mihetsika amin'ny hafainganam-pandeha mifanaraka amin'ny 1500 m / min. Ny pulleys tarihin'ny mazava tsara sy ny fifehezana ny fihenjanana mihidy (15-130 N) dia mitazona ny tariby ho mafy orina, mampihena ny mety hisian'ny fiviliana na fahatapahana. -
Famahanana sy Fametrahana marina
Ny fametrahana ny servo dia mahatratra ± 0.005 mm ny marina. Ny fanitsiana laser na vision-assisted azo atao dia manatsara ny vokatra ho an'ny endrika sarotra. -
Mangatsiaka sy manala potipoti-javatra
Ny coolant fanerena avo lenta dia manala tsy tapaka ny poti ary mampitony ny toeram-piasana, misoroka ny fahasimban'ny hafanana. Ny filtration multi-stage dia manitatra ny androm-piainan'ny coolant ary mampihena ny fotoana fialan-tsasatra. -
Smart Control Platform
Ny mpamily servo manana valiny avo (<1 ms) dia manitsy dynamic ny sakafo, ny fihenjanana ary ny hafainganam-pandehan'ny tariby. Ny fitantanan-tsakafo mitambatra sy ny fampandehanan-tsarimihetsika tokana dia manamora ny famokarana faobe.
Tombontsoa fototra amin'ny milina fanatsatso diamondra marobe
-
High Productivity
Mahavita manapaka wafer 50-200 isaky ny hazakazaka, miaraka amin'ny fahaverezan'ny kerf <100 μm, manatsara ny fampiasana fitaovana hatramin'ny 40%. Ny throughput dia 5-10 × an'ny rafitra tariby tokana. -
Fanaraha-maso mazava tsara
Ny fihenjanana amin'ny tariby ao anatin'ny ± 0.5 N dia miantoka vokatra tsy miovaova amin'ny akora marefo isan-karazany. Ny fanaraha-maso amin'ny fotoana tena izy amin'ny interface HMI 10" dia manohana ny fitahirizana ny recipe sy ny fandidiana lavitra. -
Flexible, Modular Build
Mifanaraka amin'ny savaivony tariby avy amin'ny 0.12-0.45 mm ho an'ny dingana fanapahana samihafa. Ny fikarakarana robotika azo atao dia ahafahan'ny tsipika famokarana mandeha ho azy tanteraka. -
Indostrialy-grade azo itokisana
Mampihena ny fiovaovan'ny endrika (<0,01 mm) ny rafitra fanariana mavesatra/hosoka. Ny pulleys mpitari-dalana miaraka amin'ny coating seramika na karbida dia manome fiainana 8000 ora mahery.
Fampiharana sahan'ny milina fanatsatso diamondra maromaro
-
Semiconductors: Manapaka SiC ho an'ny maody herinaratra EV, substrate GaN ho an'ny fitaovana 5G.
-
Photovoltaics: Fitetehana wafer silisiôna haingam-pandeha miaraka amin'ny fitovian'ny ± 10 μm.
-
LED & Optika: Sifotra safira ho an'ny epitaxy sy singa optika mazava tsara miaraka amin'ny fanipazana sisiny <20 μm.
-
Advanced Ceramic: Fanodinana ny alumina, AlN, ary fitaovana mitovy amin'izany ho an'ny singa fitantanana aerospace sy mafana.
FAQ - milina fanasan-damba diamondra marobe
Q1: Inona no tombony amin'ny sawing tariby marobe raha oharina amin'ny milina tariby tokana?
A: Ny rafitra tariby maro dia afaka manapaka am-polony amin'ny wafer an-jatony miaraka, mampitombo ny fahombiazan'ny 5-10 ×. Ny fampiasana fitaovana dia avo kokoa ihany koa amin'ny fahaverezan'ny kerf eo ambanin'ny 100 μm, ka mahatonga azy io ho tsara amin'ny famokarana faobe.
Q2: Inona avy ireo karazana fitaovana azo karakaraina?
A: Ny milina dia natao ho an'ny fitaovana mafy sy marefo, anisan'izany ny silisiôma karbida (SiC), safira, gallium nitride (GaN), quartz, alumina (Al₂O₃), ary aluminium nitride (AlN).
Q3: Inona ny marina azo tratrarina sy ny kalitao ambonin'ny?
A: Mety hahatratra Ra <0.5 μm ny hamafin'ny ety, miaraka amin'ny mari-pamantarana ± 0.02 mm. Ny sisiny chipping dia azo fehezina amin'ny <20 μm, mahafeno ny fenitry ny indostrian'ny semiconductor sy optoelectronic.
Q4: Miteraka triatra na fahasimbana ve ny fizotran'ny fanapahana?
A: Miaraka amin'ny coolant fanerena avo lenta sy ny fifehezana ny fihenjanana mihidy, dia mihena ny loza ateraky ny micro-cracks sy ny fahasimban'ny adin-tsaina, izay miantoka ny fahamendrehan'ny wafer.
