Azo ampiasaina amin'ny puce LED ny PSS 2inch 4inch 6inch ICP dry etching misy lamina Sapphire Substrate PSS 4inch 6inch.
Toetra fototra
1. Toetran'ny akora: Safira kristaly tokana (Al₂O₃) no akora fototra ampiasaina, izay mafy orina, mahatohitra hafanana avo ary tsy miovaova araka ny simika.
2. Rafitra ambonin'ny tany: Ny ambonin'ny tany dia foronina amin'ny alalan'ny photolithography sy ny fanosihosena azy ho rafitra micro-nano miverimberina, toy ny kônina, piramida na filaharana hexagonal.
3. Fahombiazana optika: Amin'ny alàlan'ny famolavolana lamina ety ambonin'ny tany, mihena ny taratry ny hazavana manontolo eo amin'ny interface, ary mihatsara ny fahombiazan'ny fanesorana hazavana.
4. Fahombiazana ara-hafanana: Ny takelaka safira dia manana conductivity mafana tena tsara, mety amin'ny fampiharana LED mahery vaika.
5. Famaritana ny habe: Ny habe mahazatra dia 2 santimetatra (50.8mm), 4 santimetatra (100mm) ary 6 santimetatra (150mm).
Faritra fampiharana lehibe
1. Fanamboarana LED:
Fahombiazan'ny fanesorana hazavana nohatsaraina: Mampihena ny fahaverezan'ny hazavana ny PSS amin'ny alàlan'ny famolavolana lamina, ka manatsara be ny famirapiratan'ny LED sy ny fahombiazan'ny hazavana.
Kalitaon'ny fitomboana epitaxial nohatsaraina: Ny rafitra misy lamina dia manome fototra fitomboana tsara kokoa ho an'ny sosona epitaxial GaN ary manatsara ny fahombiazan'ny LED.
2. Diôda Laser (LD):
Laser mahery vaika: Ny conductivity mafana avo lenta sy ny fahamarinan'ny PSS dia mety amin'ny diode laser mahery vaika, izay manatsara ny fahombiazan'ny fanaparitahana hafanana sy ny fahatokisana.
Courant ambany tokonam-baravarana: Atsaraina ny fitomboan'ny epitaxial, ahena ny courant tokonam-baravarana amin'ny diode laser, ary hatsaraina ny fahombiazana.
3. Mpikaroka sary:
Fahatsapana avo lenta: Ny fiparitahan'ny hazavana avo lenta sy ny hakitroky ny lesoka ambany amin'ny PSS dia manatsara ny fahatsapana sy ny hafainganam-pandehan'ny photodetector.
Valin-kafatra ara-spektraly midadasika: mety amin'ny fitadiavana taratra photoelectric amin'ny elanelana ultraviolet ka hatramin'ny hita maso.
4. Elektronika herinaratra:
Fanoherana voltazy avo lenta: Ny insulasiôna avo lenta sy ny fahamarinan'ny hafanana an'ny Sapphire dia mety amin'ny fitaovana herinaratra voltazy avo lenta.
Fampielezana hafanana mahomby: Ny fitondrana hafanana avo lenta dia manatsara ny fahombiazan'ny fitaovana elektrika amin'ny fampielezana hafanana ary manalava ny androm-piainany.
5. Fitaovana Rf:
Fahombiazana avo lenta: Ny fatiantoka dielektrika ambany sy ny fahamarinan-toerana mafana avo lenta an'ny PSS dia mety amin'ny fitaovana RF avo lenta.
Tabataba ambany: Ny fisaka tsara sy ny hakitroky ny lesoka ambany dia mampihena ny tabataban'ny fitaovana ary manatsara ny kalitaon'ny famantarana.
6. Biosensors:
Fitihana hazavana avo lenta: Ny fifindran'ny hazavana avo lenta sy ny fahamarinan'ny simikan'ny PSS dia mety amin'ny biosensors avo lenta.
Fifanarahana ara-biolojika: Ny fifanarahan'ny safira amin'ny biolojika dia mahatonga azy ho mety amin'ny fampiharana ara-pitsaboana sy fitiliana biolojika.
Sary safira misy lamina (PSS) miaraka amin'ny fitaovana epitaxial GaN:
Ny substrate safira misy lamina (PSS) dia substrate tsara indrindra ho an'ny fitomboana epitaxial GaN (gallium nitride). Akaiky ny GaN ny lattice constant an'ny safira, izay afaka mampihena ny tsy fitoviana sy ny lesoka amin'ny fitomboana epitaxial. Ny firafitry ny micro-nano amin'ny velaran'ny PSS dia tsy vitan'ny hoe manatsara ny fahombiazan'ny fitrandrahana hazavana, fa manatsara ihany koa ny kalitaon'ny kristaly amin'ny sosona epitaxial GaN, ka manatsara ny fahombiazana sy ny fahatokisan'ny LED.
Paramètre ara-teknika
| zavatra | Safira misy lamina (2~6 santimetatra) | ||
| savaivony | 50.8 ± 0.1 mm | 100.0 ± 0.2 mm | 150.0 ± 0.3 mm |
| hateviny | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
| Fironana ety ambonin'ny tany | Fizarana C (0001) tsy mitongilana mankany amin'ny axe M (10-10) 0.2 ± 0.1° | ||
| Fizarana C (0001) tsy mitongilana mankany amin'ny axe A (11-20) 0 ± 0.1° | |||
| Fironana fisaka voalohany | A-Plane (11-20) ± 1.0° | ||
| Halavan'ny fisaka voalohany | 16.0 ± 1.0 mm | 30.0 ± 1.0 mm | 47.5 ± 2.0 mm |
| R-Plane | Amin'ny 9 ora | ||
| Famaranana ny velaran'ny anoloana | ny modelin'ny | ||
| Famaranana ny velaran-tany aoriana | SSP: Voatoto tsara, Ra=0.8-1.2um; DSP: Voapoloka epi, Ra<0.3nm | ||
| Marika Laser | Lafiny aoriana | ||
| TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
| LOHAN-TSAMBO | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
| aretina | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
| Fanilihana ny sisiny | ≤2 mm | ||
| Famaritana ny lamina | Rafitra endrika | Dome, Cone, Piramida | |
| Haavo lamina | 1.6~1.8μm | ||
| Diameter'ny lamina | 2.75~2.85μm | ||
| Habaka lamina | 0.1~0.3μm | ||
Manam-pahaizana manokana amin'ny fanomezana substrates safira (PSS) misy lamina avo lenta sy namboarina manokana ny XKH, miaraka amin'ny fanohanana ara-teknika sy serivisy aorian'ny fivarotana mba hanampiana ny mpanjifa hahatratra fanavaozana mahomby eo amin'ny sehatry ny LED, fampisehoana ary optoelektronika.
1. Famatsiana PSS avo lenta: Takelaka safira misy lamina amin'ny habe samihafa (2", 4", 6") mba hanomezana fahafaham-po ny filàn'ny LED, efijery ary fitaovana optoelektronika.
2. Endrika namboarina manokana: Amboary ny rafitra micro-nano ambonin'ny tany (toy ny kôna, piramida na endrika hexagonal) araka ny filàn'ny mpanjifa mba hanatsarana ny fahombiazan'ny fitrandrahana hazavana.
3. Fanohanana ara-teknika: Manome famolavolana fampiharana PSS, fanatsarana ny dingana ary torohevitra ara-teknika mba hanampiana ny mpanjifa hanatsara ny fahombiazan'ny vokatra.
4. Fanohanana ny fitomboan'ny epitaxial: Omena PSS mifanaraka amin'ny fitaovana epitaxial GaN mba hahazoana antoka fa mitombo avo lenta ny sosona epitaxial.
5. Fitsapana sy fanamarinana: Manome tatitra momba ny fanaraha-maso ny kalitaon'ny PSS mba hahazoana antoka fa mahafeno ny fenitry ny indostria ny vokatra.
Kisarisary amin'ny antsipiriany
