Fivoy Cantilever Silikônina Carbide (Fivoy Cantilever SiC)

Famaritana fohy:

Alefaso mailaka aminay

Toetoetra

Kisarisary amin'ny antsipiriany

Topimaso momba ny vokatra

Ny paddle cantilever silicon carbide, izay vita avy amin'ny silicon carbide (RBSiC) avo lenta, dia singa tena ilaina ampiasaina amin'ny rafitra famenoana sy fikirakirana wafer ho an'ny fampiharana semiconductor sy photovoltaic.
Raha ampitahaina amin'ny "quartz" na "graphite" nentim-paharazana, ny "cantilever" SiC dia manolotra tanjaka mekanika ambony, hamafin'ny vy ambony, fivelarana mafana ambany, ary fanoherana ny harafesina miavaka. Mitazona fahamarinan-toerana ara-drafitra tsara dia tsara izy ireo na dia eo aza ny mari-pana avo, mahafeno ny fepetra takiana henjana amin'ny haben'ny "wafer" lehibe, faharetan'ny fampiasana lava kokoa, ary fahalotoana ambany dia ambany.

Miaraka amin'ny fivoarana tsy tapaka amin'ny fizotran'ny semiconductor mankany amin'ny savaivony wafer lehibe kokoa, ny vokatra avo kokoa, ary ny tontolo fanodinana madio kokoa, dia nisolo tsikelikely ireo fitaovana mahazatra ny paddle cantilever SiC, ka lasa safidy tsara indrindra ho an'ny lafaoro diffusion, LPCVD, ary fitaovana mifandraika amin'izany amin'ny mari-pana avo lenta.

Toetran'ny vokatra

Fahamarinan-toerana tsara amin'ny mari-pana avo
- Miasa azo antoka amin'ny 1000–1300℃ tsy misy fiovaovan'ny endrika.
- Ny mari-pana ambony indrindra amin'ny fanompoana dia hatramin'ny 1380℃.
Fahaiza-mitondra entana avo lenta
- Tanjaky ny fiondrika hatramin'ny 250–280 MPa, avo lavitra noho ny paddle quartz.
- Afaka mikirakira wafers lehibe savaivony (300 mm sy ambony).
Faharetan'ny fampiasana maharitra & fikojakojana ambany
- Koefisien'ny fivelaran'ny hafanana ambany (4.5 × 10⁻⁶ K⁻¹), mifanaraka tsara amin'ny fitaovana fanosotra LPCVD.
- Mampihena ny triatra sy ny fikikisana vokatry ny fihenjanana, ka manalava be ny tsingerin'ny fanadiovana sy ny fikojakojana.
Fanoherana ny harafesina sy ny fahadiovana
- Fanoherana tsara amin'ny asidra sy alkali.
- Rafitra bitika matevina miaraka amin'ny porosity misokatra <0.1%, mampihena ny famokarana poti-javatra sy ny famoahana loto.
Endrika mifanaraka amin'ny automatique
- Jeometrika fizarana miampita marin-toerana miaraka amin'ny fahamarinan'ny refy avo lenta.
- Mifandray tsara amin'ny rafitra robotic fampidirana sy famoahana wafer, ka ahafahana mamokatra mandeha ho azy tanteraka.

Toetra ara-batana sy simika

zavatra	Singa	NY FANAZAVANA
Mari-pana ambony indrindra amin'ny serivisy	℃	1380
hakitroky	g/cm³	3.04 – 3.08
Porosity misokatra	%	< 0.1
Hery miondrika	MPa	250 (20℃), 280 (1200℃)
Modulus an'ny Elastisity	GPa	330 (20℃), 300 (1200℃)
Fitondran-tena mafana	W/m·K	45 (1200℃)
Koefisienan'ny fanitarana mafana	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Hamafin'ny Vickers	HV2	≥ 2100
Fanoherana ny asidra/alkalina	-	tsara

Halavana mahazatra:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Azo alaina araka ny fangatahana ny refy manokana

Fampiharana

Indostrian'ny Semiconductor
- LPCVD (Fametrahana Etona Simika Amin'ny Tsindry Ambany)
- Dingana fanaparitahana (phosphore, boron, sns.)
- Oksidasiona mafana
Indostrian'ny Fotovoltaika
- Fiparitahana sy fandrakofana ny polysilicon sy monocrystalline wafer
- Fampangatsiahana sy fandeferana amin'ny hafanana avo lenta
Saha hafa
- Tontolo iainana manimba amin'ny mari-pana avo lenta
- Rafitra fikirakirana wafer mazava tsara izay mitaky faharetana maharitra sy fahalotoana ambany

Tombontsoa ho an'ny mpanjifa

Vidin'ny fampandehanana mihena– Androm-piainana lava kokoa raha oharina amin'ny paddles quartz, ka mampihena ny fotoana tsy fiasana sy ny fahamaroan'ny fanoloana.
Vokatra ambony kokoa– Ny fahalotoana faran'izay kely dia kely dia miantoka ny fahadiovan'ny velaran'ny wafer ary mampihena ny tahan'ny lesoka.
Miaro ny ho avy– Mifanaraka amin'ny habe wafer lehibe sy ny dingana semiconductor taranaka manaraka.
Fahombiazana nohatsaraina– Mifanaraka tanteraka amin'ny rafitra automatique robotika, manohana ny famokarana betsaka.

Fanontaniana Matetika Apetraka – Fivoy Cantilever Silicon Carbide

F1: Inona no atao hoe paddle cantilever silicon carbide?
A: Singa fanohanana sy fikirakirana wafer vita amin'ny karbida silikônina mifamatotra amin'ny fihetsika (RBSiC) izy io. Ampiasaina betsaka amin'ny lafaoro diffusion, LPCVD, ary dingana semiconductor sy photovoltaic hafa amin'ny mari-pana avo lenta.

F2: Nahoana no misafidy SiC fa tsy quartz paddles?
A: Raha ampitahaina amin'ny paddles quartz, ny paddles SiC dia manolotra:

Tanjaka mekanika ambony kokoa sy fahafahana mitondra enta-mavesatra
Faharetan'ny hafanana tsara kokoa amin'ny mari-pana hatramin'ny 1380℃
Faharetan'ny fampiasana lava kokoa ary tsingerin'ny fikojakojana mihena
Ambany kokoa ny mety hisian'ny poti-javatra sy ny mety hisian'ny fahalotoana
Mifanaraka amin'ny habe wafer lehibe kokoa (300 mm sy ambony)

F3: Inona avy ireo habe wafer azon'ny paddle cantilever SiC zakaina?
A: Misy paddle mahazatra azo ampiasaina amin'ny rafitra lafaoro 2378 mm, 2550 mm, ary 2660 mm. Misy refy namboarina manokana azo ampiasaina hanohanana wafer hatramin'ny 300 mm sy mihoatra.

Momba anay

Manam-pahaizana manokana amin'ny fampivoarana, famokarana ary fivarotana fitaratra optika manokana sy fitaovana kristaly vaovao ny XKH. Manolotra fitaovana elektronika optika, fitaovana elektronika ho an'ny mpanjifa ary ho an'ny tafika ny vokatray. Manolotra singa optika Safira, fonon-tanana finday, seramika, LT, Silicon Carbide SIC, Quartz, ary wafer kristaly semiconductor izahay. Manana fahaizana manokana sy fitaovana avo lenta izahay, ary miavaka amin'ny fanodinana vokatra tsy manara-penitra, mikendry ny ho orinasa teknolojia avo lenta amin'ny fitaovana optoelektronika.