Ny fizotran'ny TVG amin'ny safira quartz BF33 wafer Glass wafer punching

Ny tombony amin'ny TGV (Through Glass Via) dia hita taratra indrindra amin'ny:

1) Toetra elektrika avo lenta avo lenta. Ny fitaovana fitaratra dia fitaovana insulator, ny dielectric tsy miova dia eo amin'ny 1/3 amin'ny akora silisiôma, ny fatiantoka dia 2-3 baiko ambany kokoa noho ny akora silisiôma, mahatonga ny fatiantoka amin'ny substrate sy ny fiantraikan'ny parasitika dia mihena be mba hiantohana ny ny fahamarinan'ny famantarana nampitaina;

(2) Ny habe lehibe sy ny substrate fitaratra ultra-manify dia mora azo. Afaka manolotra Sapphire, Quartz, Corning, ary SCHOTT ary mpanamboatra fitaratra hafa afaka manome habe lehibe (> 2m × 2m) sy fitaratra tontonana faran'izay manify (<50µm) ary fitaovana vera malefaka faran'izay manify.

3) Vidiny ambany. Mandray soa avy amin'ny fidirana mora amin'ny vera tontonana ultra-manify lehibe, ary tsy mitaky ny fametrahana ny insulating sosona, ny vidin'ny famokarana fitaratra adaptatera lovia dia eo amin'ny 1/8 amin'ny takelaka adaptatera mifototra amin'ny silisiôma;

4) Fomba tsotra. Tsy ilaina ny mametraka ny insulating sosona eo amin'ny substrate ambonin'ny sy ny rindrina anatiny ny TGV (amin'ny alalan'ny fitaratra Via), ary tsy misy thinning ilaina amin'ny ultra-manify adaptatera takelaka;

(5) Filaminana mekanika matanjaka. Na dia latsaky ny 100µm aza ny hatevin'ny takelaka adaptatera, dia mbola kely ny warpage;

6) Ny fampiharana isan-karazany. Ho fanampin'ny fanantenana fampiharana tsara eo amin'ny sehatry ny avo lenta, amin'ny maha-fitaovana mangarahara azy, dia azo ampiasaina ihany koa eo amin'ny sehatry ny fampidirana rafitra optoelectronic, ny tombony amin'ny rivotra sy ny fanoherana ny harafesina dia mahatonga ny substrate fitaratra eo amin'ny sehatry ny encapsulation MEMS manana hery lehibe.

Amin'izao fotoana izao, ny orinasa dia manome TGV (amin'ny alalan'ny fitaratra Via) vera amin'ny alalan'ny teknolojia lavaka, afaka mandamina ny fanodinana ny fitaovana ho avy sy manome ny vokatra mivantana. Afaka manolotra Safira, Quartz, Corning, ary SCHOTT, BF33 ary solomaso hafa. Raha mila izany ianao dia afaka mifandray aminay mivantana amin'ny fotoana rehetra! Tongasoa ny fanadihadiana!