Rafitra Fironana Wafer ho an'ny Fandrefesana ny Fironana Kristaly

Famaritana fohy:

Ny fitaovana fanoroana ny endriky ny wafer dia fitaovana avo lenta mampiasa ny fitsipiky ny difraksiona taratra X mba hanatsarana ny famokarana semiconductor sy ny fizotran'ny siansa momba ny fitaovana amin'ny alàlan'ny famaritana ny fironana kristalografika. Ny singa fototra ao aminy dia ahitana loharanon-taratra X (ohatra, Cu-Kα, halavan'ny onjam-peo 0.154 nm), goniometera fanoroana mazava (famahanana zoro ≤0.001°), ary mpitsikilo (CCD na mpanisa scintillation). Amin'ny alàlan'ny fihodinana santionany sy ny famakafakana ny lamina difraksiona, dia kajy ny tondro kristalografika (ohatra, 100, 111) sy ny elanelan'ny lattice miaraka amin'ny fahamarinan'ny ±30 arcsecond. Ny rafitra dia manohana ny asa mandeha ho azy, ny fametrahana banga, ary ny fihodinana multi-axis, mifanaraka amin'ny wafer 2-8-inch ho an'ny fandrefesana haingana ny sisin'ny wafer, ny fiaramanidina fanondroana, ary ny fampifanarahana ny sosona epitaxial. Ny fampiharana lehibe dia ahitana ny karbida silikônina mifantoka amin'ny fanapahana, ny wafer safira, ary ny fanamarinana ny fahombiazan'ny lelan'ny turbine amin'ny mari-pana avo, izay manatsara mivantana ny toetran'ny herinaratra sy ny vokatra avy amin'ny chip.


Toetoetra

Fampidirana ny fitaovana

Fitaovana fanamarinana mazava tsara mifototra amin'ny fitsipiky ny difraksiona X-ray (XRD) ny fitaovana fijerena taratra Wafer, izay ampiasaina indrindra amin'ny fanamboarana semiconductor, fitaovana optika, seramika ary indostrian'ny fitaovana kristaly hafa.

Ireo fitaovana ireo dia mamaritra ny fironan'ny harato kristaly ary mitarika ny dingana fanapahana na fanadiovana mazava tsara. Ireto ny endri-javatra fototra:

  • Fandrefesana avo lenta:Afaka mamaha ireo takelaka kristaly misy famaha zoro hatramin'ny 0.001°.
  • Fifanarahana amin'ny santionany lehibe:Manohana wafers hatramin'ny 450 mm ny savaivony ary milanja 30 kg, mety amin'ny fitaovana toy ny silicon carbide (SiC), safira, ary silicon (Si).
  • Endrika Modular:Ireo endri-javatra azo mivelatra dia ahitana ny fanadihadiana ny fiolahana mihodina, ny fanaovana sarintany 3D momba ny lesoka amin'ny ety ambonin'ny sary, ary ireo fitaovana fampiarahana ho an'ny fanodinana santionany maro.

Ireo masontsivana ara-teknika fototra​

Sokajy masontsivana

Sanda/Fikirana mahazatra

Loharanon'ny taratra X

Cu-Kα (teboka mifantoka 0.4×1 mm), voltazy manafaingana 30 kV, courant fantsona azo amboarina 0–5 mA

Elanelana Angular

θ: -10° hatramin'ny +50°; 2θ: -10° hatramin'ny +100°

Fahamarinana

Famaha ny zoro fitongilanana: 0.001°, fitadiavana lesoka amin'ny velarana: ±30 segondra fihodinana (fiolahana mihozongozona)

Hafainganam-pandehan'ny scan

Mamita ny firindrana feno ao anatin'ny 5 segondra ny scan Omega; Maharitra ~1 minitra ny scan Theta

Dingana santionany

V-groove, fifohana rivotra, fihodinana zoro maro, mifanaraka amin'ny wafers 2–8-inch

Asa azo mivelatra

Famakafakana ny fiolahana mihozongozona, fanaovana sarintany 3D, fitaovana fampiarahana, fitadiavana lesoka optika (rangotra, GB)

Fitsipika momba ny fiasana

1. Fototra Diffraction X-ray

  • Mifandray amin'ny nokleary atomika sy elektrôna ao amin'ny tambajotra kristaly ny taratra X, ka miteraka lamina difraksiona. Ny Lalàn'i Bragg (​​nλ = 2d sinθ​​) no mifehy ny fifandraisana misy eo amin'ny zoro difraksiona (θ) sy ny elanelan'ny tambajotra (d).
    Maka ireo lamina ireo ny fitaovana mpitsikilo, izay hadihadiana mba hanamboarana indray ny rafitra kristaly.

2. Teknolojian'ny fandinihana Omega

  • Mihodina tsy an-kijanona manodidina ny axe raikitra ny kristaly raha manazava azy kosa ny taratra X.
  • Manangona ireo famantarana diffraction manerana ireo sehatra kristaly maromaro ireo mpitsikilo, ka ahafahana mamaritra tanteraka ny fironana amin'ny harato ao anatin'ny 5 segondra.

3. ​​Famakafakana ny fiolahana mihozongozona

  • Zoro kristaly raikitra miaraka amin'ny zoro fitrangan'ny taratra X miovaova mba handrefesana ny sakany ambony (FWHM), hanombanana ny lesoka sy ny fihenjanana amin'ny harato.

4. Fanaraha-maso mandeha ho azy

  • Ny interface PLC sy touchscreen dia ahafahana manao zoro fanapahana efa voafaritra mialoha, manome valin-kafatra amin'ny fotoana tena izy, ary mampiditra azy amin'ny milina fanapahana ho an'ny fanaraha-maso mihidy.

Fitaovana Fanodinana Wafer 7

Tombony sy endri-javatra

1. Fahamarinana sy fahombiazana

  • Fahamarinan'ny zoro ±0.001°, famaha ny fahitana lesoka <30 segondra arc.
  • Ny hafainganam-pandehan'ny scan Omega dia 200× haingana kokoa noho ny scan Theta nentim-paharazana.

2. Fiovaovan'ny endrika sy ny fiovaovan'ny endrika

  • Azo mivelatra ho an'ny fampiharana manokana (ohatra, wafers SiC, lelan'ny turbine).
  • Mifandray amin'ny rafitra MES ho an'ny fanaraha-maso ny famokarana amin'ny fotoana tena izy.

3. Fifanarahana sy fitoniana

  • Mandray ireo santionany tsy ara-dalàna ny endriny (ohatra, vato safira vaky).
  • Mampihena ny filàna fikojakojana ny endrika mangatsiaka amin'ny rivotra.

4. ​​Fampiasana marani-tsaina

  • Fanitsiana amin'ny tsindry iray monja sy fanodinana asa maro.
  • Fanaraha-maso mandeha ho azy miaraka amin'ny kristaly fanondroana mba hampihenana ny fahadisoan'olombelona.

Fitaovana Fanodinana Wafer 5-5

Fampiharana

1. Fanamboarana Semiconductor

  • ​​Fironana fanapahana wafer: Mamaritra ny fironan'ny wafer Si, SiC, GaN mba hahazoana fahombiazana fanapahana tsara indrindra.
  • Sarintany misy lesoka: Mamantatra ny rangotra na ny fihetsehan'ny ety ambonin'ny tany mba hanatsarana ny vokatra azo avy amin'ny poti-javatra.

2. ​​Akora optika

  • Kristaly tsy mitongilana (ohatra, LBO, BBO) ho an'ny fitaovana laser.
  • Marika fanondroana ny velaran'ny wafer safira ho an'ny substrate LED.

3. Seramika sy Kompositera

  • Mamakafaka ny fironan'ny voam-bary ao amin'ny Si3N4 sy ZrO2 ho an'ny fampiharana amin'ny mari-pana avo.

4. Fikarohana sy Fanaraha-maso ny Kalitao

  • Oniversite/laboratoara ho an'ny fampivoarana akora vaovao (ohatra, firaka entropy avo lenta).
  • Fanaraha-maso ara-indostrialy (QC) mba hahazoana antoka fa tsy miovaova ny andiany.

Serivisy an'ny XKH

Manolotra fanohanana ara-teknika feno ho an'ny fitaovana fanoroana wafer ny XKH, anisan'izany ny fametrahana, ny fanatsarana ny masontsivana amin'ny fizotran'ny asa, ny famakafakana ny fiolahana mihodinkodina, ary ny fanaovana sarintany amin'ny lesoka amin'ny ety ambonin'ny 3D. Omena vahaolana namboarina manokana (ohatra, ny teknolojia fametrahana ingot) mba hanatsarana ny fahombiazan'ny famokarana semiconductor sy fitaovana optika mihoatra ny 30%. Misy ekipa manokana manao fiofanana eny an-toerana, raha toa kosa ny fanohanana lavitra 24/7 sy ny fanoloana haingana ny piesy fanoloana dia miantoka ny fahatokisan'ny fitaovana.


  • Teo aloha:
  • Manaraka:

  • Soraty eto ny hafatrao ary alefaso aminay