Rafitra orientation wafer ho an'ny fandrefesana orientation kristaly

Famaritana fohy:

Ny fitaovana orientation wafer dia fitaovana avo lenta mampiasa ny fitsipiky ny diffraction X-ray mba hanamafisana ny famokarana semiconductor sy ny fizotran'ny siansa amin'ny alàlan'ny famaritana ny orientation kristaly. Ny singa fototra ao aminy dia ahitana loharano X-ray (ohatra, Cu-Kα, 0.154 nm halavan'ny onjam-peo), goniometer mazava tsara (angular resolution ≤0.001°), ary detectors (CCD na scintillation counters). Amin'ny alalan'ny fanodinkodinana santionany sy ny famakafakana ny diffraction lamina, dia manao kajy ny indices crystallographic (oh: 100, 111) sy ny elanelan'ny makarakara miaraka amin'ny ± 30 arcsecond marina. Ny rafitra dia manohana ny asa mandeha ho azy, ny fametrahana banga, ary ny fihodinan'ny multi-axis, mifanaraka amin'ny wafers 2-8-inch ho an'ny fandrefesana haingana ny sisin'ny wafer, ny fiaramanidina fanondro ary ny fampifanarahana ny sosona epitaxial. Ny fampiharana lehibe dia misy ny karbida silisiôma miompana amin'ny fanapahana, ny safira safira, ary ny fanamafisana ny mari-pana amin'ny mari-pana ambony amin'ny turbine, manatsara mivantana ny fananana elektrika sy ny vokatra.


Toetoetra

Fampidirana fitaovana

Ny fitaovana orientation wafer dia fitaovana fandrefesana miorina amin'ny fitsipiky ny X-ray diffraction (XRD), izay ampiasaina indrindra amin'ny famokarana semiconductor, fitaovana optika, seramika ary indostrian'ny fitaovana kristaly hafa.

Ireo fitaovana ireo dia mamaritra ny fiorenan'ny lattice kristaly ary mitari-dalana amin'ny fomba fanapahana na fanosihosena. Ny endri-javatra fototra dia ahitana:

  • Fandrefesana avo lenta:Mahay mamaha ny fiaramanidina kristaly miaraka amin'ny fanapahan-kevitra angular hatramin'ny 0.001°​.
  • Large sample compatibility:Manohana wafers hatramin'ny 450 mm amin'ny savaivony sy ny lanjan'ny 30 kg, mety amin'ny fitaovana toy ny silisiôma karbida (SiC), safira ary silisiôma (Si).
  • Modular famolavolana:Ny fampiasa azo itarina dia ahitana ny famakafakana curve rocking, 3D surface defect mapping, ary fitaovana manangom-bokatra ho an'ny fanodinana santionany maro.

Parameter ara-teknika fototra

Sokajy paramètre

Soatoavina/Fanamboarana mahazatra

Loharano X-ray

Cu-Kα (0,4 × 1 mm focal spot), 30 kV accelerating voltage, 0–5 mA adjustable tube current

Angular Range

θ: -10° hatramin’ny +50°; 2θ: -10° hatramin’ny +100°

Fahamarinana

Famahana ny zoro mitongilana: 0.001°, fahitana kilema amin'ny tany: ± 30 arcseconds (curve mihozongozona)

Hafainganam-pandinihana

Ny scan Omega dia mameno ny orientation lattice feno ao anatin'ny 5 segondra; Ny scan Theta dia maharitra ~ 1 minitra

Dingana santionany

V-groove, suction pneumatic, rotation multi-zoro, mifanaraka amin'ny wafers 2-8-inch

Expandable Functions

Famakafakana curve mihozongozona, sarintany 3D, fitaovana manangom-bokatra, famantaran'ny lesoka optika (karazana, GB)

Fitsipika miasa

1. X-ray Diffraction Foundation

  • Ny taratra X dia mifandray amin'ny nokleary atômika sy ny elektrôna ao amin'ny lattice kristaly, ka miteraka lamina diffraction. Ny Lalàn'i Bragg (​nλ = 2d sinθ​​) dia mifehy ny fifandraisana misy eo amin'ny zoro diffraction (θ) sy ny elanelan'ny lattice (d).
    Ny mpitsikilo dia misambotra ireo lamina ireo, izay nodinihina mba hanarenana ny rafitra kristaly.

2. Teknolojia Scanning Omega

  • Ny kristaly dia mihodina tsy an-kijanona manodidina ny axis raikitra raha ny taratra X no manazava azy.
  • Ny mpitsikilo dia manangona mari-pamantarana diffraction manerana ny fiaramanidina kristaly maro, mamela ny famaritana ny fironany makarakara feno ao anatin'ny 5 segondra.

3. Famakafakana Curve Rocking

  • Zoro kristaly raikitra miaraka amin'ny zoro taratra X-ray isan-karazany mba handrefesana ny sakany ambony (FWHM), fanombanana ny lesoka sy ny fihenjanana.

4. Fanaraha-maso mandeha ho azy

  • Ny interface PLC sy touchscreen dia ahafahan'ny zoro fanapahana preset, ny valin-kafatra amin'ny fotoana tena izy, ary ny fampidirana amin'ny milina fanapahana ho an'ny fanaraha-maso mihidy.

Fitaovana Orientation Wafer 7

Tombontsoa sy endri-javatra

1. Fahamarinana sy fahombiazana

  • Angular marina ± 0.001°, famahana ny kilema <30 arcseconds.
  • Ny hafainganam-pandehan'ny Omega dia 200x haingana kokoa noho ny scan Theta nentim-paharazana.

2. Modularity sy Scalability

  • Azo itarina ho an'ny fampiharana manokana (ohatra, SiC wafers, lelan'ny turbine).
  • Mitambatra amin'ny rafitra MES ho an'ny fanaraha-maso ny famokarana amin'ny fotoana tena izy.

3. Compatibility sy Stability

  • Mametraka santionany tsy ara-dalàna (ohatra, safira vaky).
  • Mampihena ny filana fikojakojana ny famolavolana fampangatsiahana rivotra.

4. Fampiasa intelligent

  • Kalibration tokana sy fanodinana asa maro.
  • Auto-calibration miaraka amin'ny kristaly reference mba hampihenana ny fahadisoan'ny olombelona.

Fitaovana Orientation Wafer 5-5

Applications

1. Fanamboarana Semiconductor

  • Orientation wafer: Mamaritra ny orientation wafer Si, SiC, GaN ho an'ny fahombiazan'ny fanapahana.
  • Sarintany misy kilema: Mamantatra ny fikorotanana na ny fikisahana amin'ny tany mba hanatsarana ny vokatra chip.

2. Fitaovana Optical

  • Ny kristaly tsy an-tariby (ohatra, LBO, BBO) ho an'ny fitaovana laser.
  • Safira wafer reference surface marika ho an'ny LED substrates.

3. Seramika sy Composites

  • Manadihady ny fironany voa amin'ny Si3N4 sy ZrO2 ho an'ny fampiharana amin'ny hafanana ambony.

4. Fikarohana sy fanaraha-maso kalitao

  • Anjerimanontolo/laboratoara ho an'ny fampivoarana fitaovana vaovao (ohatra, firaka avo lenta).
  • Industrial QC mba hiantohana ny batch tsy miovaova.

Ny sandan'ny anjara XKH

XKH dia manolotra fanohanana ara-teknika amin'ny fiainana andavanandro ho an'ny fitaovana orientation wafer, ao anatin'izany ny fametrahana, ny fanatsarana ny mari-pamantarana dingana, ny famakafakana ny curve mihozongozona, ary ny fametahana sari-tany 3D. Vahaolana namboarina (ohatra, ny teknôlôjian'ny ingot stacking) dia omena mba hanatsarana ny fahombiazan'ny famokarana fitaovana semiconductor sy optika mihoatra ny 30%. Ny ekipa voatokana dia manao fiofanana eny an-toerana, raha ny fanohanana lavitra 24/7 sy ny fanoloana kojakoja haingana dia miantoka ny fahamendrehan'ny fitaovana.


  • teo aloha:
  • Manaraka:

  • Soraty eto ny hafatrao ary alefaso aminay