Kristaly LT Lithium Tantalate (LiTaO3) 2 santimetatra/3 santimetatra/4 santimetatra/6 santimetatra Orientation Y-42°/36°/108° Hatevina 250-500um
Paramètre ara-teknika
| Anarana | LiTaO3 kilasy optika | Haavon'ny latabatra feo LiTaO3 |
| Axial | Z tapaka + / - 0.2 ° | 36° Y tapaka / 42° Y tapaka / X tapaka(+ / - 0.2°) |
| savaivony | 76.2mm + / - 0.3mm/100±0.2mm | 76.2mm + /-0.3mm100mm + /-0.3mm 0r 150±0.5mm |
| Filaharana daty | 22mm + / - 2mm | 22mm + /-2mm32mm + /-2mm |
| hateviny | 500um + /-5mm1000um + /-5mm | 500um + /-20mm350um + /-20mm |
| TTV | ≤ 10um | ≤ 10um |
| Mari-pana Curie | 605 °C + / - 0.7 °C (fomba DTA) | 605 °C + / -3 °C (fomba DTA |
| Kalitaon'ny ety ambonin'ny tany | Fanosotra amin'ny lafiny roa | Fanosotra amin'ny lafiny roa |
| Sisiny voakiky | fanindronana ny sisiny | fanindronana ny sisiny |
Toetra fototra
1. Rafitra kristaly sy ny fahombiazan'ny herinaratra
· Fahamarinan'ny kristalografika: 100% 4H-SiC polytype dominance, tsy misy fampidirana kristaly maro (ohatra, 6H/15R), miaraka amin'ny fiolahana XRD mihozongozona amin'ny sakany feno amin'ny antsasaky ny ambony indrindra (FWHM) ≤32.7 arcsec.
· Fivezivezen'ny mpitatitra avo lenta: Fivezivezen'ny elektrôna 5.400 cm²/V·s (4H-SiC) ary fivezivezen'ny lavaka 380 cm²/V·s, izay ahafahana mamolavola fitaovana amin'ny fatran'ny onjam-peo avo lenta.
·Hamafin'ny Taratra: Mahazaka taratra neutron 1 MeV miaraka amin'ny fetran'ny fahasimbana ateraky ny fifindran'ny herinaratra 1×10¹⁵ n/cm², mety tsara amin'ny fampiasana fiaramanidina sy nokleary.
2. Toetra ara-hafanana sy ara-mekanika
· Fitondran-tena mafana miavaka: 4.9 W/cm·K (4H-SiC), avo telo heny noho ny silikônina, manohana ny fiasana mihoatra ny 200°C.
· Koefisien'ny Fivelarana Ara-pafanana Ambany: CTE 4.0×10⁻⁶/K (25–1000°C), miantoka ny fifanarahana amin'ny fonosana vita amin'ny silikônina ary mampihena ny fihenjanana ara-pafanana.
3. Fanaraha-maso ny lesoka sy ny fahamarinan'ny fanodinana
'
· Hakitry ny fantsona mikrô: <0.3 sm⁻² (wafer 8-inch), hakitroky ny fifindran'ny toerana <1.000 sm⁻² (nohamarinina tamin'ny alalan'ny fanesorana KOH).
· Kalitaon'ny ety ivelany: Nopolesina CMP hatramin'ny Ra <0.2 nm, mahafeno ny fepetra takiana amin'ny fisaka EUV.
Fampiharana fototra
| Sehatra | Seho fampiharana | Tombony ara-teknika |
| Fifandraisana Optika | Laser 100G/400G, môdiola hibrida fotonika silikônina | Ny substrates voa InP dia ahafahana manao bandgap mivantana (1.34 eV) sy heteroepitaxy mifototra amin'ny Si, mampihena ny fahaverezan'ny fifandraisana optika. |
| Fiara Angovo Vaovao | Inverter voltazy avo lenta 800V, charger anatiny (OBC) | Mahazaka mihoatra ny 1.200 V ny substrates 4H-SiC, ka mampihena ny fatiantoka amin'ny fitarihana herinaratra hatramin'ny 50% ary ny haben'ny rafitra hatramin'ny 40%. |
| Fifandraisana 5G | Fitaovana RF misy onjam-milimetatra (PA/LNA), fanamafisam-peo amin'ny toby fototra | Ny substrates SiC semi-insulating (resistivity >10⁵ Ω·cm) dia ahafahana mampiditra passive amin'ny matetika avo lenta (60 GHz+). |
| Fitaovana indostrialy | Sela mari-pana avo lenta, mpanova herinaratra, mpanara-maso ny reaktora nokleary | Ny substrates voan'ny InSb (0.17 eV bandgap) dia manome fahatsapana magnetika hatramin'ny 300%@10 T. |
Wafer LiTaO₃ - Toetra mampiavaka azy
1. Fahombiazana Piezoelektrika Ambony
· Ny coefficient piezoelectric avo lenta (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) dia ahafahana mampiasa fitaovana SAW/BAW amin'ny fatran'ny insertion loss <1.5dB ho an'ny sivana RF 5G
· Ny fifandraisana elektromekanika tena tsara dia manohana ny famolavolana sivana misy bandwidth midadasika (≥5%) ho an'ny fampiharana ambanin'ny 6GHz sy mmWave
2. Toetra Optika
· Mangarahara amin'ny alalan'ny broadband (fandefasana mihoatra ny 70% avy amin'ny 400-5000nm) ho an'ny modulators electro-optic mahatratra bandwidth mihoatra ny 40GHz
· Fahalemena optika tsy lineary matanjaka (χ⁽²⁾~30pm/V) manamora ny famokarana harmonika faharoa mahomby (SHG) amin'ny rafitra laser
3. Fahamarinan'ny tontolo iainana
· Ny mari-pana Curie avo (600°C) dia mitazona ny valin'ny piezoelectric amin'ny tontolo iainana fiara (-40°C hatramin'ny 150°C)
· Ny tsy fahatomombanan'ny simika amin'ny asidra/alkaly (pH1-13) dia miantoka ny fahatokisana amin'ny fampiharana sensor indostrialy
4. Fahaiza-manao fanamboarana manokana
· Injeniera orientation: X-cut (51°), Y-cut (0°), Z-cut (36°) ho an'ny valinteny piezoelectric namboarina manokana
· Safidy fampidirana: Mg-doped (fanoherana ny fahasimban'ny optika), Zn-doped (d₃₃ nohatsaraina)
· Famaranana ny velarana: Famolahana vonona amin'ny epitaxial (Ra<0.5nm), famolahana metaly ITO/Au
Wafers LiTaO₃ - Fampiasana Voalohany
1. Môdioly RF eo anoloana
· Sivana 5G NR SAW (Band n77/n79) miaraka amin'ny coefficient de frequence de température (TCF) <|-15ppm/°C|
· Resonatora BAW ultra-wideband ho an'ny WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz)
2. Fotonika mitambatra
· Modulator Mach-Zehnder haingam-pandeha (>100Gbps) ho an'ny fifandraisana optika mirindra
· Mpitsikilo infrarouge QWIP miaraka amin'ny halavan'ny onjam-pandrefesana azo ovaina manomboka amin'ny 3-14μm
3. Elektronika Fiara
· Kapila fijanonan'ny fiara ultrasonika miaraka amin'ny fatran'ny fiasana >200kHz
· Mahazaka tsingerin'ny hafanana -40°C hatramin'ny 125°C ny transducers piezoelectric TPMS
4. Rafitra fiarovana
· Sivana mpandray EW miaraka amin'ny fandavana ivelan'ny tarika >60dB
· Varavarankely IR ho an'ny mpitady balafomanga izay mandefa taratra MWIR 3-5μm
5. Teknolojia vao misondrotra
· Mpanova foto-kevitra optika ho an'ny fiovam-po avy amin'ny microwave ho optika
· Firafitra PMUT ho an'ny sary amin'ny alalan'ny ultrasound ara-pitsaboana (resolution >20MHz)
Mofomamy LiTaO₃ - Serivisy XKH
1. Fitantanana ny rojo famatsiana
· Fanodinana Boule-to-wafer miaraka amin'ny fe-potoana fitarihana 4 herinandro ho an'ny fepetra takiana mahazatra
· Famokarana voatsara amin'ny vidiny mirary izay manome tombony 10-15% amin'ny vidiny raha oharina amin'ny mpifaninana
2. Vahaolana manokana
· Fanenjanana mifintina manokana: 36°±0.5° Y-cut ho an'ny fahombiazana SAW tsara indrindra
· Fangaro voadotra: Fangaro MgO (5mol%) ho an'ny fampiharana optika
Tolotra fanamboarana metaly: Famolavolana lamina elektroda Cr/Au (100/1000Å)
3. Fanohanana ara-teknika
· Famaritana ny akora: fiolahana XRD (FWHM<0.01°), fanadihadiana ny velaran'ny AFM
· Fanahafana fitaovana: modely FEM ho an'ny fanatsarana ny famolavolana sivana SAW
Famaranana
Mbola ahafahan'ny wafers LiTaO₃ mandroso ara-teknolojia amin'ny fifandraisana RF, photonics mitambatra, ary sensors tontolo iainana henjana. Ny fahaizan'ny XKH amin'ny fitaovana, ny fahamarinan'ny famokarana, ary ny fanohanana ny injeniera fampiharana dia manampy ny mpanjifa handresy ireo fanamby amin'ny famolavolana amin'ny rafitra elektronika taranaka manaraka.









