SiC substrate 3inch 350um hateviny HPSI karazana Prime Grade Dummy grade
Properties
| fikirana | Kilasy famokarana | Kilasy fikarohana | Kilasy Saro-pantarina | Singa |
| kilasy | Kilasy famokarana | Kilasy fikarohana | Kilasy Saro-pantarina | |
| savaivony | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | mm |
| hateviny | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | μm |
| Fironana amin'ny Wafer | Eo amin'ny axe: <0001> ± 0.5° | Eo amin'ny axe: <0001> ± 2.0° | Eo amin'ny axe: <0001> ± 2.0° | ANTONONY |
| Hakitry ny fantsona mikrô (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
| Fanoherana elektrika | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·sm |
| Dopant | Nofoanana ny doka | Nofoanana ny doka | Nofoanana ny doka | |
| Fironana fisaka voalohany | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | ANTONONY |
| Halavan'ny fisaka voalohany | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | mm |
| Halavan'ny fisaka faharoa | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
| Fironana fisaka faharoa | 90° CW avy amin'ny fisaka voalohany ± 5.0° | 90° CW avy amin'ny fisaka voalohany ± 5.0° | 90° CW avy amin'ny fisaka voalohany ± 5.0° | ANTONONY |
| Fanilihana ny sisiny | 3 | 3 | 3 | mm |
| LTV/TTV/Tsipy/Volavolaina | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | μm |
| Fahasarotan'ny ety ambonin'ny tany | Si-face: CMP, C-face: Voapoloka | Si-face: CMP, C-face: Voapoloka | Si-face: CMP, C-face: Voapoloka | |
| Triatra (Hazavana mahery vaika) | tsy misy | tsy misy | tsy misy | |
| Takelaka Hex (Jiro Mahery vaika) | tsy misy | tsy misy | Velaran-tany mitambatra 10% | % |
| Faritra Polytype (Hazavana Mahery vaika) | Velaran-tany mitambatra 5% | Velaran-tany mitambatra 20% | Velaran-tany mitambatra 30% | % |
| Ratra (Hazavana mahery vaika) | ≤ 5 rangotra, halavana mitambatra ≤ 150 | ≤ 10 rangotra, halavana mitambatra ≤ 200 | ≤ 10 rangotra, halavana mitambatra ≤ 200 | mm |
| Fanesorana sisiny | Tsy misy ≥ 0.5 mm ny sakany/halaliny | 2 azo atao ≤ 1 mm ny sakany/halaliny | 5 azo atao ≤ 5 mm ny sakany/halaliny | mm |
| Fahalotoan'ny ety ambonin'ny tany | tsy misy | tsy misy | tsy misy |
Fampiharana
1. Elektronika Mahery vaika
Ny conductivity mafana ambony sy ny elanelana misy eo amin'ny bandgap an'ny wafers SiC dia mahatonga azy ireo ho tsara indrindra amin'ny fitaovana mahery vaika sy matetika avo lenta:
●MOSFET sy IGBT ho an'ny fiovam-pahefana.
●Rafitra herinaratra mandroso ho an'ny fiara elektrika, anisan'izany ny "inverter" sy ny "chargeur".
●Fotodrafitrasa tambajotra marani-tsaina sy rafitra angovo azo havaozina.
2. Rafitra RF sy Microwave
Ny substrates SiC dia ahafahana mampiasa RF sy microwave avo lenta miaraka amin'ny fahaverezan'ny signal faran'izay kely indrindra:
●Rafitra fifandraisan-davitra sy zanabolana.
●Rafitra radar an'habakabaka.
●Singa tambajotra 5G mandroso.
3. Optoelektronika sy Sela
Ny toetra mampiavaka ny SiC dia manohana karazana fampiharana optoelektronika isan-karazany:
●Mpitatitra UV ho an'ny fanaraha-maso ny tontolo iainana sy ny fitiliana indostrialy.
●Sombin-jiro LED sy laser ho an'ny jiro "solid-state" sy fitaovana fanaraha-maso mazava tsara.
●Karazana mari-pana avo lenta ho an'ny indostrian'ny fiaramanidina sy fiara.
4. Fikarohana sy Fampandrosoana
Ny fahasamihafan'ny kilasy (Famokarana, Fikarohana, Sary vetaveta) dia ahafahana manao fanandramana sy manamboatra prototyping fitaovana avo lenta any amin'ny akademia sy ny indostria.
tombony
● Fahatokisana:Resistivity sy fitoniana tsara dia tsara amin'ny ambaratonga rehetra.
●Fanamboarana manokana:Fisehoana sy hatevina namboarina mba hifanaraka amin'ny filàna samihafa.
● Fahadiovana avo lenta:Ny fangaro tsy misy fangarony dia miantoka ny fiovaovana kely indrindra mifandraika amin'ny fahalotoana.
●Fahafahana mivelatra:Mahafeno ny fepetra takian'ny famokarana faobe sy ny fikarohana andrana.
Ireo "wafers" SiC madio avo lenta 3 santimetatra no vavahady hidiranao amin'ny fitaovana avo lenta sy fandrosoana ara-teknolojia vaovao. Raha mila fanazavana fanampiny sy famaritana amin'ny antsipiriany, mifandraisa aminay anio.
FAMINTINANA
Ireo Wafers Silicon Carbide (SiC) avo lenta 3 santimetatra, misy amin'ny Production, Research, ary Dummy Grades, dia substrates premium natao ho an'ny elektronika mahery vaika, rafitra RF/microwave, optoelectronics, ary R&D mandroso. Ireo wafers ireo dia manana toetra tsy misy doping, semi-insulating miaraka amin'ny resistivity tsara dia tsara (≥1E10 Ω·cm ho an'ny Production Grade), hakitroky ny micropipe ambany (≤1 cm−2^-2−2), ary kalitaon'ny velarana miavaka. Natao tsara ho an'ny fampiharana avo lenta izy ireo, anisan'izany ny fiovam-pahefana, ny fifandraisan-davitra, ny fahatsapana UV, ary ny teknolojia LED. Miaraka amin'ny fironana azo amboarina, ny conductivity mafana ambony, ary ny toetra mekanika matanjaka, ireo wafers SiC ireo dia ahafahana manamboatra fitaovana mahomby sy azo itokisana ary manavao amin'ny sehatra indostrialy.
Kisarisary amin'ny antsipiriany







