4 inch SiC Wafers 6H Semi-Insulating SiC Substrates prime, research, and dummy grade

4 mirefy SiC Wafers 6H Semi-Insulating SiC Substrates prime, research, and dummy grade Featured Image

Famaritana fohy:

Semi-insulated silisiôma carbide substrate dia miforona amin'ny alalan'ny fanapahana, fitotoana, poloney, fanadiovana sy ny teknolojia fanodinana hafa taorian'ny fitomboan'ny semi-insulated silisiôma carbide kristaly. Ny sosona na ny sosona kristaly multilayer dia mitombo eo amin'ny substrate izay mahafeno ny fepetra takian'ny kalitao ho epitaxy, ary avy eo ny fitaovana RF microwave dia atao amin'ny fampifangaroana ny famolavolana sy ny fonosana. Misy toy ny 2inch 3inch 4inch 6inch 8inch indostrialy, fikarohana sy fitsapana kilasy semi-insulated silisiôma carbide substrates kristaly tokana.

Alefaso mailaka aminay

Toetoetra

Product Specification

kilasy			Zero MPD Production Grade (Z Grade)			Famokarana fenitra (P)		Naoty Dummy (Naoty D)
savaivony			99,5 mm~100,0 mm
	4H-SI		500 μm±20 μm			500 μm±25 μm
Orientation Wafer			Off axis : 4.0° mankany< 1120 > ± 0.5° ho an'ny 4H-N, On axis : <0001>±0.5° ho an'ny 4H-SI
	4H-SI		≤1cm^-2			≤5 sm^-2		≤15 sm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Primary Flat Orientation		{10-10} ±5.0°
Length fisaka voalohany		32,5 mm±2,0 mm
Length fisaka faharoa		18,0 mm±2,0 mm
Orientation fisaka faharoa		Silicone face up: 90° CW. avy amin'ny Prime flat ±5.0°
Edge Exclusion		3 mm
LTV / TTV / Bow / Warp		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm / ≤15 μm / ≤25 μm / ≤40 μm
fahombiazana			C tarehy				poloney		Ra≤1 nm
			Si face	VIT	Ra≤0.2 nm					Ra≤0.5 nm
Trika ny sisiny amin'ny hazavana mahery vaika		tsy misy						Ny halavan'ny fitambarany ≤ 10 mm, tokana halavany≤2 mm
Plates Hex amin'ny hazavana mahery vaika		Faritra mitambatra ≤0.05%						Faritra mitambatra ≤0.1%
Faritra polytype amin'ny hazavana mahery vaika		tsy misy						Faritra mitambatra≤3%
Visual Carbon Inclusions		Faritra mitambatra ≤0.05%						Faritra mitambatra ≤3%
Fikarohana silikônika amin'ny alàlan'ny hazavana mahery vaika		tsy misy						Mitambatra halavany≤1＊wafer savaivony
Edge Chips Avo Amin'ny Intensity Light		Tsy misy navela ≥0.2 mm ny sakany sy ny halaliny						5 avela, ≤1 mm tsirairay
Fandotoana ambonin'ny silikon amin'ny hamafin'ny avo		tsy misy
Fonosana		Kasety maro-wafer na kasety wafer tokana