4 inch SiC Wafers 6H Semi-Insulating SiC Substrates prime, fikarohana ary kilasy dummy

Famaritana fohy:

Semi-insulated silisiôma carbide substrate dia miforona amin'ny alalan'ny fanapahana, fitotoana, poloney, fanadiovana sy ny teknolojia fanodinana hafa taorian'ny fitomboan'ny semi-insulated silisiôma carbide kristaly.Ny sosona na ny sosona kristaly multilayer dia mitombo eo amin'ny substrate izay mahafeno ny fepetra takian'ny kalitao ho epitaxy, ary avy eo ny fitaovana RF microwave dia atao amin'ny fampifangaroana ny famolavolana sy ny fonosana.Misy toy ny 2inch 3inch 4inch 6inch 8 inch indostrialy, fikarohana sy fitsapana kilasy semi-insulated silisiôma carbide substrates kristaly tokana.


Product Detail

Tags vokatra

Product Specification

kilasy

Zero MPD Production Grade (Z Grade)

Famokarana fenitra (P)

Naoty Dummy (Naoty D)

 
savaivony 99,5 mm~100,0 mm  
  4H-SI 500 μm±20 μm

500 μm±25 μm

 
Orientation Wafer  

 

Off axis : 4.0° mankany< 1120 > ± 0.5° ho an'ny 4H-N, On axis : <0001>±0.5° ho an'ny 4H-SI

 
  4H-SI

≤1cm-2

≤5 sm-2

≤15 sm-2

 
  4H-SI

≥1E9 Ω·cm

≥1E5 Ω·cm

 
Primary Flat Orientation

{10-10} ±5.0°

 
Length fisaka voalohany 32,5 mm±2,0 mm  
Halava fisaka faharoa 18,0 mm±2,0 mm  
Orientation fisaka faharoa

Silicone face up: 90° CW.avy amin'ny Prime flat ±5.0°

 
Edge Exclusion

3 mm

 
LTV / TTV / Bow / Warp ≤3 μm / ≤5 μm / ≤15 μm / ≤30 μm ≤10 μm / ≤15 μm / ≤25 μm / ≤40 μm  
 

fahombiazana

C tarehy

    poloney Ra≤1 nm

Si face

VIT Ra≤0.2 nm    

Ra≤0.5 nm

Trika ny sisiny amin'ny hazavana mahery vaika

tsy misy

Ny halavan'ny fitambarany ≤ 10 mm, tokana

halavany≤2 mm

 
Plates Hex amin'ny hazavana mahery vaika Faritra mitambatra ≤0.05% Faritra mitambatra ≤0.1%  
Faritra polytype amin'ny hazavana mahery vaika

tsy misy

Faritra mitambatra≤3%  
Visual Carbon Inclusions Faritra mitambatra ≤0.05% Faritra mitambatra ≤3%  
Fikarohana silikônika amin'ny alàlan'ny hazavana mahery vaika  

tsy misy

Mitambatra halavany≤1*wafer savaivony  
Edge Chips Avo Amin'ny Intensity Light Tsy misy navela ≥0.2 mm ny sakany sy ny halaliny 5 avela, ≤1 mm tsirairay  
Fandotoana ambonin'ny silikon amin'ny hamafin'ny avo

tsy misy

 
Fonosana

Kasety maro-wafer na kasety wafer tokana

 

Diagram amin'ny antsipiriany

Diagram amin'ny antsipiriany (1)
Diagram amin'ny antsipiriany (2)

  • teo aloha:
  • Manaraka:

  • Soraty eto ny hafatrao ary alefaso aminay